ISBN: 9781605110400 - doping engineering for front-end processing: symposium held march 25-27, 2008, san francisco, california, u.s.a: 1070 (mrs proceedings) (17 resultados)
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Doping Engineering for Front-end Processing : Symposium Held March 25-27, 2008, San Francisco, California, U.s.a
Pawlak, B. j. (EDT); Pelaz, M. l. (EDT); Law, M. (EDT); Suguro, K. (EDT)
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Doping Engineering for Front-end Processing : Symposium Held March 25-27, 2008, San Francisco, California, U.s.a
Pawlak, B. j. (EDT); Pelaz, M. l. (EDT); Law, M. (EDT); Suguro, K. (EDT)
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Doping Engineering for Front-end Processing: Symposium Held March 25-27, 2008, San Francisco, California, U.s.a: Vol 1070
Pawlak, B. j. (Editor)/ Pelaz, M. l. (Editor)/ Law, M. (Editor)/ Suguro, K. (Editor)
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Buch. Condición: Neu. Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - Materials scientists, silicon technologists and TCAD researchers come together in this book to share experimental results and physical models, discuss achievements and challenges, and identify key issues for future research in this field. The volume focuses on many aspects related to doping of semiconductors (Si, SiGe and Ge) for device fabrication, and explores areas for single-gate as well as multi-gate devices with planar and vertical architectures. Surface properties, coverage, bonding saturation and passivation, and annealing ambient are also discussed.…
Doping Engineering for Front-end Processing : Symposium Held March 25-27, 2008, San Francisco, California, U.s.a
Pawlak, B. j. (EDT); Pelaz, M. l. (EDT); Law, M. (EDT); Suguro, K. (EDT)
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Gebunden. Condición: New. Dieser Artikel ist ein Print on Demand Artikel und wird nach Ihrer Bestellung fuer Sie gedruckt. InhaltsverzeichnisPreface Part I. Ultra Shallow Junctions I Part II. Shallow Junction Contacting Part III. Poster Session Part IV. Ultra Shallow Junctions II Part V. Solid Phase Epitaxial Regrowth Part VI. Modeling and Simulation .…
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