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9780815512813 - Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications (Materials Science and Process Technology Series) (15 resultados)
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HANDBOOK OF VLSI MICROLITHOGRAPHY : PRINCIPLES, TECHNOLOGY AND APPLICATIONS
Librería: Basi6 International, Irving, TX, Estados Unidos de America
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Handbook of VLSI Microlithography
Idioma: Inglés
Publicado por William Andrew Publishing, 1991
ISBN 10: 0815512813 ISBN 13: 9780815512813
Librería: Majestic Books, Hounslow, Reino Unido
Calificación del vendedor: 4 de 5 estrellas
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Handbook of Vlsi Microlithography : Principles, Technology and Applications
Librería: GreatBookPrices, Columbia, MD, Estados Unidos de America
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
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Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications (Materials Science and Process Technology)
Idioma: Inglés
Publicado por William Andrew 1991-01-01, 1991
ISBN 10: 0815512813 ISBN 13: 9780815512813
Librería: Chiron Media, Wallingford, Reino Unido
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
EUR 46,51
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Handbook of Vlsi Microlithography : Principles, Technology and Applications
Librería: GreatBookPrices, Columbia, MD, Estados Unidos de America
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
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Handbook of Vlsi Microlithography : Principles, Technology and Applications
Librería: GreatBookPricesUK, Woodford Green, Reino Unido
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
EUR 63,19
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Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications (Materials Science and Process Technology)
Librería: Ria Christie Collections, Uxbridge, Reino Unido
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
EUR 66,92
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Handbook of VLSI Microlithography
Idioma: Inglés
Publicado por William Andrew Publishing, 1991
ISBN 10: 0815512813 ISBN 13: 9780815512813
Librería: Books Puddle, New York, NY, Estados Unidos de America
Calificación del vendedor: 4 de 5 estrellas
EUR 80,66
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Handbook of VLSI Microlithography
Idioma: Inglés
Publicado por William Andrew Publishing, 1991
ISBN 10: 0815512813 ISBN 13: 9780815512813
Librería: Biblios, Frankfurt am main, HESSE, Alemania
Calificación del vendedor: 4 de 5 estrellas
EUR 74,72
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Handbook of Vlsi Microlithography : Principles, Technology and Applications
Librería: GreatBookPricesUK, Woodford Green, Reino Unido
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
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HANDBK OF VLSI MICROLITHOGRAPH
Librería: moluna, Greven, Alemania
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EUR 91,72
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Añadir al carritoCondición: New. Redaktion: William B. GlendinningJohn Helbert is a Senior Member of the Motorola Technical Staff. He earned his doctorate in PhysicalThis handbook gives readers a close look at the entire technology of printing very high resolution and high den.
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HANDBOOK OF VLSI MICROLITHOGRAPHY
Librería: Brook Bookstore On Demand, Napoli, NA, Italia
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
EUR 53,13
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Handbook of Vlsi Microlithography: Principles, Technology and Applications
Librería: Revaluation Books, Exeter, Reino Unido
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Añadir al carritoHardcover. Condición: Brand New. 1st edition. 671 pages. 10.00x6.75x2.25 inches. In Stock. This item is printed on demand.
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Handbook of VLSI Microlithography
Librería: BuchWeltWeit Ludwig Meier e.K., Bergisch Gladbach, Alemania
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Añadir al carritoBuch. Condición: Neu. This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -This handbook gives readers a close look at the entire technology of printing very high resolution and high density integrated circuit (IC) patterns into thin resist process transfer coatings-- including optical lithography, electron beam, ion beam, and x-ray lithography. The book's main theme is the special printing process needed to achieve volume high density IC chip production, especially in the Dynamic Random Access Memory (DRAM) industry. The book leads off with a comparison of various lithography methods, covering the three major patterning parameters of line/space, resolution, line edge and pattern feature dimension control. The book's explanation of resist and resist process equipment technology may well be the first practical description of the relationship between the resist process and equipment parameters. The basics of resist technology are completely covered -- including an entire chapter on resist process defectivity and the potential yield limiting effect on device production. Each alternative lithographic technique and testing method is considered and evaluated: basic metrology including optical, scanning-electron-microscope (SEM) techniques and electrical test devices, along with explanations of actual printing tools and their design, construction and performance. The editor devotes an entire chapter to today's sophisticated, complex electron-beam printers, and to the emerging x-ray printing technology now used in high-density CMOS devices. Energetic ion particle printing is a controllable, steerable technology that does not rely on resist, and occupies a final section of the handbook. 672 pp. Englisch.
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Handbook of VLSI Microlithography : Principles, Technology and Applications
Librería: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, Alemania
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Añadir al carritoBuch. Condición: Neu. nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - This handbook gives readers a close look at the entire technology of printing very high resolution and high density integrated circuit (IC) patterns into thin resist process transfer coatings-- including optical lithography, electron beam, ion beam, and x-ray lithography. The book's main theme is the special printing process needed to achieve volume high density IC chip production, especially in the Dynamic Random Access Memory (DRAM) industry. The book leads off with a comparison of various lithography methods, covering the three major patterning parameters of line/space, resolution, line edge and pattern feature dimension control. The book's explanation of resist and resist process equipment technology may well be the first practical description of the relationship between the resist process and equipment parameters. The basics of resist technology are completely covered -- including an entire chapter on resist process defectivity and the potential yield limiting effect on device production. Each alternative lithographic technique and testing method is considered and evaluated: basic metrology including optical, scanning-electron-microscope (SEM) techniques and electrical test devices, along with explanations of actual printing tools and their design, construction and performance. The editor devotes an entire chapter to today's sophisticated, complex electron-beam printers, and to the emerging x-ray printing technology now used in high-density CMOS devices. Energetic ion particle printing is a controllable, steerable technology that does not rely on resist, and occupies a final section of the handbook.
