Handbook of VLSI Microlithography : Principles, Technology and Applications
Idioma: inglés
Editorial: Elsevier Inc, 1991
- Tapa dura
- Nuevo
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nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - This handbook gives readers a close look at the entire technology of printing very high resolution and high density integrated circuit (IC) patterns into thin resist process transfer coatings-- including optical lithography, electron beam, ion beam, and x-ray lithography. The book's main theme is the special printing process needed to achieve volume high density IC chip production, especially in the Dynamic Random Access Memory (DRAM) industry. The book leads off with a comparison of various lithography methods, covering the three major patterning parameters of line/space, resolution, line edge and pattern feature dimension control. The book's explanation of resist and resist process equipment technology may well be the first practical description of the relationship between the resist process and equipment parameters. The basics of resist technology are completely covered -- including an entire chapter on resist process defectivity and the potential yield limiting effect on device production. Each alternative lithographic technique and testing method is considered and evaluated: basic metrology including optical, scanning-electron-microscope (SEM) techniques and electrical test devices, along with explanations of actual printing tools and their design, construction and performance. The editor devotes an entire chapter to today's sophisticated, complex electron-beam printers, and to the emerging x-ray printing technology now used in high-density CMOS devices. Energetic ion particle printing is a controllable, steerable technology that does not rely on resist, and occupies a final section of the handbook.…
N° de ref. del artículo 9780815512813
- Título
- Handbook of VLSI Microlithography : Principles, Technology and Applications
- Autor
- John N. Helbert
- Editorial
- Elsevier Inc
- Año de publicación
- 1991
- Estado
- Neu
- Encuadernación
- Buch
- Idioma
- inglés
- ISBN 10
- 0815512813
- ISBN 13
- 9780815512813
- Peso del artículo
- 1030 gramos
- Dimensiones
- 237x160x37 mm
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Para cumplir con el plazo de desistimiento, basta con que envíe su comunicación relativa al ejercicio del derecho de desistimiento antes de que venza el periodo de desistimiento.
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