Idioma: Inglés
Publicado por LAP LAMBERT Academic Publishing, 2024
ISBN 10: 6207471199 ISBN 13: 9786207471195
Librería: Ria Christie Collections, Uxbridge, Reino Unido
EUR 44,53
Cantidad disponible: Más de 20 disponibles
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Idioma: Inglés
Publicado por LAP LAMBERT Academic Publishing, 2024
ISBN 10: 6207471199 ISBN 13: 9786207471195
Librería: preigu, Osnabrück, Alemania
EUR 39,35
Cantidad disponible: 5 disponibles
Añadir al carritoTaschenbuch. Condición: Neu. Lithography Techniques | Microlithography to Nanolithography | Jasvir Dalal (u. a.) | Taschenbuch | Englisch | 2024 | LAP LAMBERT Academic Publishing | EAN 9786207471195 | Verantwortliche Person für die EU: SIA OmniScriptum Publishing, Brivibas Gatve 197, 1039 RIGA, LETTLAND, customerservice[at]vdm-vsg[dot]de | Anbieter: preigu.
Idioma: Inglés
Publicado por LAP LAMBERT Academic Publishing, 2024
ISBN 10: 6207471199 ISBN 13: 9786207471195
Librería: Mispah books, Redhill, SURRE, Reino Unido
EUR 100,23
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Idioma: Español
Publicado por Ediciones Nuestro Conocimiento, 2024
ISBN 10: 6207348516 ISBN 13: 9786207348510
Librería: preigu, Osnabrück, Alemania
EUR 38,70
Cantidad disponible: 5 disponibles
Añadir al carritoTaschenbuch. Condición: Neu. Técnicas litográficas | De la microlitografía a la nanolitografía | Jasvir Dalal (u. a.) | Taschenbuch | Spanisch | 2024 | Ediciones Nuestro Conocimiento | EAN 9786207348510 | Verantwortliche Person für die EU: preigu GmbH & Co. KG, Lengericher Landstr. 19, 49078 Osnabrück, mail[at]preigu[dot]de | Anbieter: preigu.
Idioma: Francés
Publicado por Editions Notre Savoir, 2024
ISBN 10: 6207348524 ISBN 13: 9786207348527
Librería: moluna, Greven, Alemania
EUR 35,62
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Idioma: Francés
Publicado por Editions Notre Savoir, 2024
ISBN 10: 6207348524 ISBN 13: 9786207348527
Librería: preigu, Osnabrück, Alemania
EUR 39,35
Cantidad disponible: 5 disponibles
Añadir al carritoTaschenbuch. Condición: Neu. Techniques de lithographie | De la microlithographie à la nanolithographie | Jasvir Dalal (u. a.) | Taschenbuch | Einband - flex.(Paperback) | Französisch | 2024 | Editions Notre Savoir | EAN 9786207348527 | Verantwortliche Person für die EU: SIA OmniScriptum Publishing, Brivibas Gatve 197, 1039 RIGA, LETTLAND, customerservice[at]vdm-vsg[dot]de | Anbieter: preigu.
EUR 35,62
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Idioma: Portugués
Publicado por Edições Nosso Conhecimento, 2024
ISBN 10: 6207348494 ISBN 13: 9786207348497
Librería: moluna, Greven, Alemania
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Añadir al carritoTaschenbuch. Condición: Neu. Tecniche di litografia | Dalla microlitografia alla nanolitografia | Jasvir Dalal (u. a.) | Taschenbuch | Einband - flex.(Paperback) | Italienisch | 2024 | Edizioni Sapienza | EAN 9786207348534 | Verantwortliche Person für die EU: SIA OmniScriptum Publishing, Brivibas Gatve 197, 1039 RIGA, LETTLAND, customerservice[at]vdm-vsg[dot]de | Anbieter: preigu.
Idioma: Portugués
Publicado por Edições Nosso Conhecimento, 2024
ISBN 10: 6207348494 ISBN 13: 9786207348497
Librería: preigu, Osnabrück, Alemania
EUR 39,35
Cantidad disponible: 5 disponibles
Añadir al carritoTaschenbuch. Condición: Neu. Técnicas de litografia | Da microlitografia à nanolitografia | Jasvir Dalal (u. a.) | Taschenbuch | Einband - flex.(Paperback) | Portugiesisch | 2024 | Edições Nosso Conhecimento | EAN 9786207348497 | Verantwortliche Person für die EU: SIA OmniScriptum Publishing, Brivibas Gatve 197, 1039 RIGA, LETTLAND, customerservice[at]vdm-vsg[dot]de | Anbieter: preigu.
Librería: preigu, Osnabrück, Alemania
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Añadir al carritoTaschenbuch. Condición: Neu. Lithografie-Techniken | Mikrolithographie bis Nanolithographie | Jasvir Dalal (u. a.) | Taschenbuch | 68 S. | Deutsch | 2024 | Verlag Unser Wissen | EAN 9786207348503 | Verantwortliche Person für die EU: SIA OmniScriptum Publishing, Brivibas Gatve 197, 1039 RIGA, LETTLAND, customerservice[at]vdm-vsg[dot]de | Anbieter: preigu.
Idioma: Inglés
Publicado por LAP LAMBERT Academic Publishing, 2024
ISBN 10: 6207471199 ISBN 13: 9786207471195
Librería: PBShop.store US, Wood Dale, IL, Estados Unidos de America
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Idioma: Inglés
Publicado por LAP LAMBERT Academic Publishing, 2024
ISBN 10: 6207471199 ISBN 13: 9786207471195
Librería: PBShop.store UK, Fairford, GLOS, Reino Unido
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Idioma: Inglés
Publicado por LAP LAMBERT Academic Publishing Mrz 2024, 2024
ISBN 10: 6207471199 ISBN 13: 9786207471195
Librería: BuchWeltWeit Ludwig Meier e.K., Bergisch Gladbach, Alemania
EUR 43,90
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Añadir al carritoTaschenbuch. Condición: Neu. This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware 64 pp. Englisch.
Idioma: Español
Publicado por Ediciones Nuestro Conocimiento Apr 2024, 2024
ISBN 10: 6207348516 ISBN 13: 9786207348510
Librería: BuchWeltWeit Ludwig Meier e.K., Bergisch Gladbach, Alemania
EUR 43,90
Cantidad disponible: 2 disponibles
Añadir al carritoTaschenbuch. Condición: Neu. This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware 68 pp. Spanisch.
Idioma: Francés
Publicado por Editions Notre Savoir Apr 2024, 2024
ISBN 10: 6207348524 ISBN 13: 9786207348527
Librería: BuchWeltWeit Ludwig Meier e.K., Bergisch Gladbach, Alemania
EUR 43,90
Cantidad disponible: 2 disponibles
Añadir al carritoTaschenbuch. Condición: Neu. This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware 72 pp. Französisch.
Idioma: Inglés
Publicado por LAP LAMBERT Academic Publishing Mär 2024, 2024
ISBN 10: 6207471199 ISBN 13: 9786207471195
Librería: buchversandmimpf2000, Emtmannsberg, BAYE, Alemania
EUR 43,90
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Añadir al carritoTaschenbuch. Condición: Neu. This item is printed on demand - Print on Demand Titel. Neuware -In this era, electronic devices such as mobile phones, computers, laptops, sensors, and many more devices have become a necessity for men for healthcare, a pleasant lifestyle, and to do tasks quickly and easily. Different types of temperature sensors, biosensors, photosensors, etc. have been developed to meet the necessities of the people. All these devices have chips inside them fabricated using diodes, transistors, logic gates, and ICs. The patterning of the substrate which is used for the further development of these devices is done with the help of a technique known as Lithography. In the present work, we have done a review on different types of lithographic techniques like optical lithography, extreme ultraviolet lithography, electron beam lithography, x-ray lithography, and ion beam lithography. The evolutions made in these techniques with time and applications of these techniques in device fabrication are discussed. Different exposure tools developed in the last decade to enhance the resolution of the devices are also discussed. Chemically amplified and non-chemically amplified resists with their bonding and thickness are discussed.VDM Verlag, Dudweiler Landstraße 99, 66123 Saarbrücken 64 pp. Englisch.
Idioma: Inglés
Publicado por LAP LAMBERT Academic Publishing, 2024
ISBN 10: 6207471199 ISBN 13: 9786207471195
Librería: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, Alemania
EUR 44,59
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Añadir al carritoTaschenbuch. Condición: Neu. nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - In this era, electronic devices such as mobile phones, computers, laptops, sensors, and many more devices have become a necessity for men for healthcare, a pleasant lifestyle, and to do tasks quickly and easily. Different types of temperature sensors, biosensors, photosensors, etc. have been developed to meet the necessities of the people. All these devices have chips inside them fabricated using diodes, transistors, logic gates, and ICs. The patterning of the substrate which is used for the further development of these devices is done with the help of a technique known as Lithography. In the present work, we have done a review on different types of lithographic techniques like optical lithography, extreme ultraviolet lithography, electron beam lithography, x-ray lithography, and ion beam lithography. The evolutions made in these techniques with time and applications of these techniques in device fabrication are discussed. Different exposure tools developed in the last decade to enhance the resolution of the devices are also discussed. Chemically amplified and non-chemically amplified resists with their bonding and thickness are discussed.
Idioma: Español
Publicado por Ediciones Nuestro Conocimiento Apr 2024, 2024
ISBN 10: 6207348516 ISBN 13: 9786207348510
Librería: buchversandmimpf2000, Emtmannsberg, BAYE, Alemania
EUR 43,90
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Añadir al carritoTaschenbuch. Condición: Neu. This item is printed on demand - Print on Demand Titel. Neuware -En esta era, los dispositivos electrónicos como teléfonos móviles, ordenadores, portátiles, sensores y muchos más dispositivos se han convertido en una necesidad para el hombre para el cuidado de la salud, un estilo de vida agradable y para realizar tareas de forma rápida y sencilla. Se han desarrollado diferentes tipos de sensores de temperatura, biosensores, fotosensores, etc. para satisfacer las necesidades de la gente. Todos estos dispositivos llevan en su interior chips fabricados con diodos, transistores, puertas lógicas y circuitos integrados. El patrón del sustrato que se utiliza para el desarrollo posterior de estos dispositivos se realiza con la ayuda de una técnica conocida como litografía. En el presente trabajo, hemos realizado una revisión de diferentes tipos de técnicas litográficas como la litografía óptica, la litografía ultravioleta extrema, la litografía por haz de electrones, la litografía por rayos X y la litografía por haz de iones. Se analizan la evolución de estas técnicas a lo largo del tiempo y sus aplicaciones en la fabricación de dispositivos. También se discuten diferentes herramientas de exposición desarrolladas en la última década para mejorar la resolución de los dispositivos. Se analizan los resistivos amplificados y no amplificados químicamente, con su unión y grosor.VDM Verlag, Dudweiler Landstraße 99, 66123 Saarbrücken Spanisch.
Idioma: Español
Publicado por Ediciones Nuestro Conocimiento, 2024
ISBN 10: 6207348516 ISBN 13: 9786207348510
Librería: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, Alemania
EUR 44,59
Cantidad disponible: 1 disponibles
Añadir al carritoTaschenbuch. Condición: Neu. nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - En esta era, los dispositivos electrónicos como teléfonos móviles, ordenadores, portátiles, sensores y muchos más dispositivos se han convertido en una necesidad para el hombre para el cuidado de la salud, un estilo de vida agradable y para realizar tareas de forma rápida y sencilla. Se han desarrollado diferentes tipos de sensores de temperatura, biosensores, fotosensores, etc. para satisfacer las necesidades de la gente. Todos estos dispositivos llevan en su interior chips fabricados con diodos, transistores, puertas lógicas y circuitos integrados. El patrón del sustrato que se utiliza para el desarrollo posterior de estos dispositivos se realiza con la ayuda de una técnica conocida como litografía. En el presente trabajo, hemos realizado una revisión de diferentes tipos de técnicas litográficas como la litografía óptica, la litografía ultravioleta extrema, la litografía por haz de electrones, la litografía por rayos X y la litografía por haz de iones. Se analizan la evolución de estas técnicas a lo largo del tiempo y sus aplicaciones en la fabricación de dispositivos. También se discuten diferentes herramientas de exposición desarrolladas en la última década para mejorar la resolución de los dispositivos. Se analizan los resistivos amplificados y no amplificados químicamente, con su unión y grosor.
Idioma: Portugués
Publicado por Edições Nosso Conhecimento Apr 2024, 2024
ISBN 10: 6207348494 ISBN 13: 9786207348497
Librería: BuchWeltWeit Ludwig Meier e.K., Bergisch Gladbach, Alemania
EUR 43,90
Cantidad disponible: 2 disponibles
Añadir al carritoTaschenbuch. Condición: Neu. This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware 72 pp. Portugiesisch.
Idioma: Italiano
Publicado por Edizioni Sapienza Apr 2024, 2024
ISBN 10: 6207348532 ISBN 13: 9786207348534
Librería: BuchWeltWeit Ludwig Meier e.K., Bergisch Gladbach, Alemania
EUR 43,90
Cantidad disponible: 2 disponibles
Añadir al carritoTaschenbuch. Condición: Neu. This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware 68 pp. Italienisch.
Idioma: Alemán
Publicado por Verlag Unser Wissen Apr 2024, 2024
ISBN 10: 6207348508 ISBN 13: 9786207348503
Librería: BuchWeltWeit Ludwig Meier e.K., Bergisch Gladbach, Alemania
EUR 43,90
Cantidad disponible: 2 disponibles
Añadir al carritoTaschenbuch. Condición: Neu. This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware 68 pp. Deutsch.
Idioma: Francés
Publicado por Editions Notre Savoir Apr 2024, 2024
ISBN 10: 6207348524 ISBN 13: 9786207348527
Librería: buchversandmimpf2000, Emtmannsberg, BAYE, Alemania
EUR 43,90
Cantidad disponible: 1 disponibles
Añadir al carritoTaschenbuch. Condición: Neu. This item is printed on demand - Print on Demand Titel. Neuware -À notre époque, les appareils électroniques tels que les téléphones mobiles, les ordinateurs, les ordinateurs portables, les capteurs et bien d'autres appareils sont devenus une nécessité pour les hommes en matière de soins de santé, de mode de vie agréable et d'exécution rapide et facile des tâches. Différents types de capteurs de température, de biocapteurs, de photocapteurs, etc. ont été mis au point pour répondre aux besoins de la population. Tous ces dispositifs contiennent des puces fabriquées à l'aide de diodes, de transistors, de portes logiques et de circuits intégrés. Le modelage du substrat utilisé pour le développement ultérieur de ces dispositifs est effectué à l'aide d'une technique connue sous le nom de lithographie. Dans le présent travail, nous avons passé en revue les différents types de techniques lithographiques telles que la lithographie optique, la lithographie dans l'ultraviolet extrême, la lithographie par faisceau d'électrons, la lithographie par rayons X et la lithographie par faisceau d'ions. Les évolutions de ces techniques au fil du temps et leurs applications dans la fabrication de dispositifs sont examinées. Les différents outils d'exposition développés au cours de la dernière décennie pour améliorer la résolution des dispositifs sont également abordés. Les résines amplifiées chimiquement et non amplifiées chimiquement, leur liaison et leur épaisseur sont abordées.VDM Verlag, Dudweiler Landstraße 99, 66123 Saarbrücken Französisch.
Idioma: Francés
Publicado por Editions Notre Savoir, 2024
ISBN 10: 6207348524 ISBN 13: 9786207348527
Librería: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, Alemania
EUR 44,59
Cantidad disponible: 1 disponibles
Añadir al carritoTaschenbuch. Condición: Neu. nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - À notre époque, les appareils électroniques tels que les téléphones mobiles, les ordinateurs, les ordinateurs portables, les capteurs et bien d'autres appareils sont devenus une nécessité pour les hommes en matière de soins de santé, de mode de vie agréable et d'exécution rapide et facile des tâches. Différents types de capteurs de température, de biocapteurs, de photocapteurs, etc. ont été mis au point pour répondre aux besoins de la population. Tous ces dispositifs contiennent des puces fabriquées à l'aide de diodes, de transistors, de portes logiques et de circuits intégrés. Le modelage du substrat utilisé pour le développement ultérieur de ces dispositifs est effectué à l'aide d'une technique connue sous le nom de lithographie. Dans le présent travail, nous avons passé en revue les différents types de techniques lithographiques telles que la lithographie optique, la lithographie dans l'ultraviolet extrême, la lithographie par faisceau d'électrons, la lithographie par rayons X et la lithographie par faisceau d'ions. Les évolutions de ces techniques au fil du temps et leurs applications dans la fabrication de dispositifs sont examinées. Les différents outils d'exposition développés au cours de la dernière décennie pour améliorer la résolution des dispositifs sont également abordés. Les résines amplifiées chimiquement et non amplifiées chimiquement, leur liaison et leur épaisseur sont abordées.
Librería: moluna, Greven, Alemania
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Añadir al carritoCondición: New. Dieser Artikel ist ein Print on Demand Artikel und wird nach Ihrer Bestellung fuer Sie gedruckt. Autor/Autorin: Dalal JasvirJasvir Dalal ist sowohl in der Forschung als auch in der Lehre an der Universitaet von Delhi taetig und konzentriert sich dabei auf Materialwissenschaften und polymere Nanokompositen.Suman Kumari ist in ihrer Funktion sowoh.
Idioma: Italiano
Publicado por Edizioni Sapienza Apr 2024, 2024
ISBN 10: 6207348532 ISBN 13: 9786207348534
Librería: buchversandmimpf2000, Emtmannsberg, BAYE, Alemania
EUR 43,90
Cantidad disponible: 1 disponibles
Añadir al carritoTaschenbuch. Condición: Neu. This item is printed on demand - Print on Demand Titel. Neuware -In quest'epoca, i dispositivi elettronici come telefoni cellulari, computer, computer portatili, sensori e molti altri dispositivi sono diventati una necessità per l'uomo per l'assistenza sanitaria, per uno stile di vita piacevole e per svolgere le attività in modo rapido e semplice. Per soddisfare le esigenze delle persone sono stati sviluppati diversi tipi di sensori di temperatura, biosensori, fotosensori, ecc. Tutti questi dispositivi hanno al loro interno chip fabbricati con diodi, transistor, porte logiche e circuiti integrati. La modellazione del substrato utilizzato per l'ulteriore sviluppo di questi dispositivi avviene con l'aiuto di una tecnica nota come litografia. Nel presente lavoro, abbiamo fatto una rassegna di diversi tipi di tecniche litografiche come la litografia ottica, la litografia a raggi ultravioletti estremi, la litografia a fascio di elettroni, la litografia a raggi X e la litografia a fascio di ioni. Vengono discusse le evoluzioni di queste tecniche nel tempo e le loro applicazioni nella fabbricazione di dispositivi. Vengono inoltre discussi i diversi strumenti di esposizione sviluppati nell'ultimo decennio per migliorare la risoluzione dei dispositivi. Vengono discusse le resine amplificate chimicamente e quelle non amplificate chimicamente, con i relativi legami e spessori.VDM Verlag, Dudweiler Landstraße 99, 66123 Saarbrücken Italienisch.
Idioma: Portugués
Publicado por Edições Nosso Conhecimento Apr 2024, 2024
ISBN 10: 6207348494 ISBN 13: 9786207348497
Librería: buchversandmimpf2000, Emtmannsberg, BAYE, Alemania
EUR 43,90
Cantidad disponible: 1 disponibles
Añadir al carritoTaschenbuch. Condición: Neu. This item is printed on demand - Print on Demand Titel. Neuware -Nesta era, os dispositivos electrónicos, tais como telemóveis, computadores, computadores portáteis, sensores e muitos outros dispositivos, tornaram-se uma necessidade para o homem em termos de cuidados de saúde, de um estilo de vida agradável e de execução rápida e fácil de tarefas. Foram desenvolvidos diferentes tipos de sensores de temperatura, biossensores, fotossensores, etc., para satisfazer as necessidades das pessoas. Todos estes dispositivos possuem chips fabricados com díodos, transístores, portas lógicas e circuitos integrados. A modelação do substrato que é utilizado para o desenvolvimento destes dispositivos é efectuada com a ajuda de uma técnica conhecida por Litografia. No presente trabalho, procedemos a uma revisão de diferentes tipos de técnicas litográficas, como a litografia ótica, a litografia de ultravioleta extremo, a litografia de feixe de electrões, a litografia de raios X e a litografia de feixe de iões. São discutidas as evoluções registadas nestas técnicas ao longo do tempo e as suas aplicações no fabrico de dispositivos. São também abordadas diferentes ferramentas de exposição desenvolvidas na última década para melhorar a resolução dos dispositivos. São abordadas as resinas quimicamente amplificadas e não quimicamente amplificadas, bem como a sua ligação e espessura.VDM Verlag, Dudweiler Landstraße 99, 66123 Saarbrücken 72 pp. Portugiesisch.
Idioma: Alemán
Publicado por Verlag Unser Wissen Apr 2024, 2024
ISBN 10: 6207348508 ISBN 13: 9786207348503
Librería: buchversandmimpf2000, Emtmannsberg, BAYE, Alemania
EUR 43,90
Cantidad disponible: 1 disponibles
Añadir al carritoTaschenbuch. Condición: Neu. This item is printed on demand - Print on Demand Titel. Neuware -In der heutigen Zeit sind elektronische Geräte wie Mobiltelefone, Computer, Laptops, Sensoren und viele andere Geräte für den Menschen zu einer Notwendigkeit geworden, um sich zu versorgen, einen angenehmen Lebensstil zu führen und Aufgaben schnell und einfach zu erledigen. Verschiedene Arten von Temperatursensoren, Biosensoren, Fotosensoren usw. wurden entwickelt, um die Bedürfnisse der Menschen zu erfüllen. In all diesen Geräten befinden sich Chips, die mit Dioden, Transistoren, Logikgattern und ICs hergestellt werden. Die Strukturierung des Substrats, das für die weitere Entwicklung dieser Geräte verwendet wird, erfolgt mit Hilfe einer Technik, die als Lithographie bekannt ist. In der vorliegenden Arbeit haben wir einen Überblick über verschiedene Arten von Lithografietechniken wie optische Lithografie, Extrem-Ultraviolett-Lithografie, Elektronenstrahl-Lithografie, Röntgenstrahl-Lithografie und Ionenstrahl-Lithografie gegeben. Die Entwicklung dieser Techniken im Laufe der Zeit und ihre Anwendungen bei der Herstellung von Bauelementen werden erörtert. Es wird auch auf verschiedene Belichtungswerkzeuge eingegangen, die in den letzten zehn Jahren entwickelt wurden, um die Auflösung der Bauelemente zu verbessern. Es werden chemisch verstärkte und nicht chemisch verstärkte Resists mit ihren Bindungen und Dicken diskutiert.VDM Verlag, Dudweiler Landstraße 99, 66123 Saarbrücken 68 pp. Deutsch.
Librería: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, Alemania
EUR 43,90
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Añadir al carritoTaschenbuch. Condición: Neu. nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - In der heutigen Zeit sind elektronische Geräte wie Mobiltelefone, Computer, Laptops, Sensoren und viele andere Geräte für den Menschen zu einer Notwendigkeit geworden, um sich zu versorgen, einen angenehmen Lebensstil zu führen und Aufgaben schnell und einfach zu erledigen. Verschiedene Arten von Temperatursensoren, Biosensoren, Fotosensoren usw. wurden entwickelt, um die Bedürfnisse der Menschen zu erfüllen. In all diesen Geräten befinden sich Chips, die mit Dioden, Transistoren, Logikgattern und ICs hergestellt werden. Die Strukturierung des Substrats, das für die weitere Entwicklung dieser Geräte verwendet wird, erfolgt mit Hilfe einer Technik, die als Lithographie bekannt ist. In der vorliegenden Arbeit haben wir einen Überblick über verschiedene Arten von Lithografietechniken wie optische Lithografie, Extrem-Ultraviolett-Lithografie, Elektronenstrahl-Lithografie, Röntgenstrahl-Lithografie und Ionenstrahl-Lithografie gegeben. Die Entwicklung dieser Techniken im Laufe der Zeit und ihre Anwendungen bei der Herstellung von Bauelementen werden erörtert. Es wird auch auf verschiedene Belichtungswerkzeuge eingegangen, die in den letzten zehn Jahren entwickelt wurden, um die Auflösung der Bauelemente zu verbessern. Es werden chemisch verstärkte und nicht chemisch verstärkte Resists mit ihren Bindungen und Dicken diskutiert.