RAPID THERMAL PROCESSING FOR F

Idioma: inglés

Editorial: ELSEVIER, 2003

0444513396 / 9780444513397

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A collection of papers which were presented at the 2001 International Conference on Rapid Thermal Processing (RTP 2001) held at Ise Shima, Mie, on November 14-16, 2001. It covers the following areas such as advanced MOS gate stack, integration technologies..

N° de ref. del artículo 594685531

Título
RAPID THERMAL PROCESSING FOR F
Autor
Fukuda, H.
Editorial
ELSEVIER
Año de publicación
2003
Estado
New
Encuadernación
Encuadernación de tapa blanda
Idioma
inglés
ISBN 10
0444513396
ISBN 13
9780444513397

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