Optical Imaging in Projection Microlithography

Idioma: inglés

Editorial: SPIE Press, 2005

0819458295 / 9780819458292

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An integrated mathematical view of the physics and numerical modeling of optical projection lithography that covers the full spectrum of the important concepts. Readers with a good working knowledge of calculus can follow the development, technologists can .

N° de ref. del artículo 2146021731

Título
Optical Imaging in Projection Microlithography
Autor
Alfred K. Wong
Editorial
SPIE Press
Año de publicación
2005
Estado
New
Encuadernación
Einband - flex.(Paperback)
Idioma
inglés
ISBN 10
0819458295
ISBN 13
9780819458292

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