Introduction to Microlithography

Idioma: inglés

Editorial: American Chemical Society, 1994

0841228485 / 9780841228481

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Reviews the theory, materials and processes that are used in the lithographic process. It opens with a brief historical introduction to microlithography, and then discusses four major topics - the physics of the lithographic process, organic resist material.

N° de ref. del artículo 595088890

Título
Introduction to Microlithography
Autor
Thompson, Larry F.
Editorial
American Chemical Society
Año de publicación
1994
Estado
New
Encuadernación
Gebunden
Idioma
inglés
ISBN 10
0841228485
ISBN 13
9780841228481
Edición
2ª Edición

moluna

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