Sinopsis
Updated and expanded! Reviews the theory, materials, and processes that are used in the lithographic process. Opens with a brief historical introduction to the advances in microlithography. Discusses four major topics: the physics of the lithographic process, organic resist materials, resist processing, and plasma etching. Designed as a tutorial for researchers with no experience in the field, as well as those experienced in microlithography. Will also prove invaluable to those already involved in microlithography. Includes numerous references for more detailed reading on specific aspects of microlithography.
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Reseña del editor
Updated and expanded! Reviews the theory, materials, and processes that are used in the lithographic process. Opens with a brief historical introduction to the advances in microlithography. Discusses four major topics: the physics of the lithographic process, organic resist materials, resist processing, and plasma etching. Designed as a tutorial for researchers with no experience in the field, as well as those experienced in microlithography. Will also prove invaluable to those already involved in microlithography. Includes numerous references for more detailed reading on specific aspects of microlithography.
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Introduction to Microlithography (ACS Professional Reference Book)
Publicado por
American Chemical Society (edition 2), 1994
ISBN 10: 0841228485
ISBN 13: 9780841228481
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Introduction to Microlithography (ACS Professional Reference Book)
Publicado por
American Chemical Society, 1994
ISBN 10: 0841228485
ISBN 13: 9780841228481
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Introduction to Microlithography (ACS Professional Reference Book)
Publicado por
American Chemical Society, 1994
ISBN 10: 0841228485
ISBN 13: 9780841228481
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Intro Microlith 2ed Acspr C
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Intro Microlith 2ed Acspr C
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Hardcover. Condición: Good. No Jacket. Pages can have notes/highlighting. Spine may show signs of wear. ~ ThriftBooks: Read More, Spend Less. Nº de ref. del artículo: G0841228485I3N00
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Introduction to Microlithography (ACS Professional Reference Book)
Publicado por
American Chemical Society, 1994
ISBN 10: 0841228485
ISBN 13: 9780841228481
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Introduction to Microlithography
Publicado por
American Chemical Society, Washington, DC, 1994
ISBN 10: 0841228485
ISBN 13: 9780841228481
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Introduction to Microlithography (ACS Professional Reference Book)
Publicado por
American Chemical Society, 1994
ISBN 10: 0841228485
ISBN 13: 9780841228481
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Librería: The Mighty Book, Portland, OR, Estados Unidos de America
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Hardcover. Condición: Very Good. 2nd Edition. Gently read 2nd edition, with clean text, two creased page corners. Light wear to the pictorial cover. Ready to ship. Nº de ref. del artículo: H205
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Introduction to Microlithography
Publicado por
Amer Chemical Society, Washington, D.C., U.S.A., 1994
ISBN 10: 0841228485
ISBN 13: 9780841228481
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Librería: Feldman's Books, Menlo Park, CA, Estados Unidos de America
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Hardcover. Condición: Fine. Second Edition. Nº de ref. del artículo: 00034181
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Introduction to Microlithography. 2nd Edition.
Publicado por
Washington, D.C., U.S.A.: Amer Chemical Society, 1994
ISBN 10: 0841228485
ISBN 13: 9780841228481
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Tapa dura
Librería: Rob the Book Man, Vancouver, WA, Estados Unidos de America
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Hardcover. Condición: Fine. 2nd Edition. Hardcover in fine condition. Nº de ref. del artículo: 4311
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