Interlayer Dielectrics for Semiconductor Technologies. Murarka, S.P., M. Eizenberg and A.K. Sinha. Este artículo no está disponible.
Idioma: inglés
Editorial: Academic Press, 2004
- Tapa dura
- Usado
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Descripción del artículo del vendedor
Interlayer Dielectrics for Semiconductor Technologies. In deutscher Sprache. pages.
N° de ref. del artículo BN98109
- Título
- Interlayer Dielectrics for Semiconductor Technologies. Murarka, S.P., M. Eizenberg and A.K. Sinha
- Autor
- Murarka, S.P., M. Eizenberg and A.K. Sinha
- Editorial
- Academic Press
- Año de publicación
- 2004
- Estado
- gut
- Encuadernación
- Encuadernación de tapa dura
- Idioma
- inglés
- ISBN 10
- 0125112211
- ISBN 13
- 9780125112215
- Peso del artículo
- 2000 gramos
Semiconductor technologies are moving at such a fast pace that new materials are needed in all types of application. Manipulating the materials and their properties at atomic dimensions has become a must. This book presents the case of interlayer dielectrics materials whilst considering these challenges. Interlayer Dielectrics for Semiconductor Technologies cover the science, properties and applications of dielectrics, their preparation, patterning, reliability and characterisation, followed by the discussion of different materials including those with high dielctric constants and those useful for waveguide applications in optical communications on the chip and the package.
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Acerca del autor
By Shyam P Muraka
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