Sinopsis
Semiconductor technologies are moving at such a fast pace that new materials are needed in all types of application. Manipulating the materials and their properties at atomic dimensions has become a must. This book presents the case of interlayer dielectrics materials whilst considering these challenges. Interlayer Dielectrics for Semiconductor Technologies cover the science, properties and applications of dielectrics, their preparation, patterning, reliability and characterisation, followed by the discussion of different materials including those with high dielctric constants and those useful for waveguide applications in optical communications on the chip and the package.
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Acerca del autor
By Shyam P Muraka
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Interlayer Dielectrics For Semiconductor Technologies
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Interlayer Dielectrics For Semiconductor Technologies (Hb 2003)
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Interlayer Dielectrics for Semiconductor Technologies
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Interlayer Dielectrics For Semiconductor Technologies
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Interlayer Dielectrics for Semiconductor Technologies
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Interlayer Dielectrics for Semiconductor Technologies
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Interlayer Dielectrics For Semiconductor Technologies
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Interlayer Dielectrics for Semiconductor Technologies.
Publicado por
Elsevier Academic Press, Amsterdam a.o., 2003
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Interlayer Dielectrics for Semiconductor Technologies
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Interlayer Dielectrics for Semiconductor Technologies (Academic Press)
Publicado por
Academic Press, 2004
ISBN 10: 0125112211
ISBN 13: 9780125112215
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