T�tulo: Integrated Modeling Of Chemical Mechanical Planarization For Sub-Micron IC Fabrication: From Particle Scale to Feature, Die And Wafer Scales [Hardcover] Jianfeng Luo and David Dornfeld
Editor: Springer
Fecha de publicaci�n: 2004
Idioma: Ingl�s
ISBN 10: 354022369X
ISBN 13: 9783540223696
Encuadernaci�n: Encuadernaci�n de tapa dura
Estado: New

Acerca de

Sinopsis

Chemical mechanical planarization, or chemical mechanical polishing as it is simultaneously referred to, has emerged as one of the critical processes in semiconductor manufacturing and in the production of other related products and devices, MEMS for example. Since its introduction some 15+ years ago CMP, as it is commonly called, has moved steadily into new and challenging areas of semiconductor fabrication. Demands on it for consistent, efficient and cost-effective processing have been steady. This has continued in the face of steadily decreasing feature sizes, impressive increases in wafer size and a continuing array of new materials used in devices today. There are a number of excellent existing references and monographs on CMP in circulation and we defer to them for detailed background information. They are cited in the text. Our focus here is on the important area of process mod� els which have not kept pace with the tremendous expansion of applications of CMP. Preston’s equation is a valuable start but represents none of the subtleties of the process. Specifically, we refer to the development of models with sufficient detail to allow the evaluation and tradeoff of process inputs and parameters to assess impact on quality or quantity of production. We call that an "integrated model" and, more specifically, we include the important role of the mechanical elements of the process.

De la contraportada

This book is the product of a developing research focus on CMP at Berkeley. Its focus is on the important area of process models which have not kept pace with the tremendous expansion of applications of CMP. It specifically deals with the development of models with sufficient detail to allow the evaluation and tradeoff of process inputs and parameters to assess impact on quality or quantity of production. The important role of the mechanical elements of the process are included in such an "integrated model". The objective of the book is to introduce some background on the overlooked mechanical aspects of the process - including pad surface topography and abrasive particles. The "integrated model" can be particularly useful as one looks towards optimization of the process, design of consumables and, importantly, looking to minimize the environmental affects of CMP.

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Para ejercer el derecho de desistimiento, deber�s notificarnos a S. A., 3340 Chippewa Road, 55305, Minnetonka, Minnesota, U.S.A., 1 7632108446, de tu decisi�n de desistir del contrato a trav�s de una declaraci�n inequ�voca (por ejemplo, una carta enviada por correo postal, fax o correo electr�nico). Podr�s utilizar el modelo de formulario de desistimiento que figura a continuaci�n, aunque su uso no es obligatorio. Tienes asimismo la opci�n de cumplimentar y enviar electr�nicamente el modelo de formulario de desistimiento o cualquier otra declaraci�n inequ�voca a trav�s de nuestro sitio web a "Mis pedidos" en "Mi cuenta". Si recurres a esta opci�n, te comunicaremos sin demora en un soporte duradero (por ejemplo, por correo electr�nico) la recepci�n de dicho desistimiento.

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Podremos retenerte el reembolso hasta haber recibido los bienes, o hasta que hayas presentado una prueba de la devoluci�n de los mismos, seg�n qu� condici�n se cumpla primero. Deber�s devolvernos o entregarnos directamente los bienes a S. A., 3340 Chippewa Road, 55305, Minnetonka, Minnesota, U.S.A., 1 7632108446, sin ninguna demora indebida y, en cualquier caso, a m�s tardar en el plazo de 14 d�as naturales a partir de la fecha en que nos comuniques tu decisi�n de desistimiento del contrato. Se considerar� cumplido el plazo si efect�as la devoluci�n de los bienes antes de que haya concluido dicho plazo. Deber�s asumir el coste directo de devoluci�n de los bienes. Solo ser�s responsable de la disminuci�n de valor de los bienes resultante de una manipulaci�n distinta a la necesaria para establecer la naturaleza, las caracter�sticas y el funcionamiento de los bienes.

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A la atenci�n de: (S. A., 3340 Chippewa Road, 55305, Minnetonka, Minnesota, U.S.A., 1 7632108446)

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