Crucial Issues in Semiconductor Materials and Processing Technologies

Idioma: inglés

Editorial: Springer Netherlands Okt 1992, 1992

0792320034 / 9780792320036

Librería: BuchWeltWeit Ludwig Meier e.K., Bergisch Gladbach, AlemaniaBuchWeltWeit Ludwig Meier e.K.

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This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -Semiconductors lie at the heart of some of the most important industries and technologies of the twentieth century. The complexity of silicon integrated circuits is increasing considerably because of the continuous dimensional shrinkage to improve efficiency and functionality. This evolution in design rules poses real challenges for the materials scientists and processing engineers. Materials, defects and processing now have to be understood in their totality. World experts discuss, in this volume, the crucial issues facing lithography, ion implication and plasma processing, metallization and insulating layer quality, and crystal growth. Particular emphasis is placed upon silicon, but compound semiconductors and photonic materials are also highlighted. The fundamental concepts of phase stability, interfaces and defects play a key role in understanding these crucial issues. These concepts are reviewed in a crucial fashion. 562 pp. Englisch.…

N° de ref. del artículo 9780792320036

Título
Crucial Issues in Semiconductor Materials and Processing Technologies
Autor
S. Coffa
Editorial
Springer Netherlands Okt 1992
Año de publicación
1992
Estado
Neu
Encuadernación
Buch
Idioma
inglés
ISBN 10
0792320034
ISBN 13
9780792320036
Peso del artículo
1001 gramos
Dimensiones
241x160x35 mm

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