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Crucial Issues in Semiconductor Materials and Processing Technologies: NATO Asi : Series E : Applied Sciences, Vol. 222 (Nato Science Series E:) - Tapa dura
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Semiconductors lie at the heart of some of the most important industries and technologies of the twentieth century. The complexity of silicon integrated circuits is increasing considerably because of the continuous dimensional shrinkage to improve efficiency and functionality. This evolution in design rules poses real challenges for the materials scientists and processing engineers. Materials, defects and processing now have to be understood in their totality. World experts discuss, in this volume, the crucial issues facing lithography, ion implication and plasma processing, metallization and insulating layer quality, and crystal growth. Particular emphasis is placed upon silicon, but compound semiconductors and photonic materials are also highlighted. The fundamental concepts of phase stability, interfaces and defects play a key role in understanding these crucial issues. These concepts are reviewed in a crucial fashion.
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- EditorialSpringer
- Año de publicación1992
- ISBN 10 0792320034
- ISBN 13 9780792320036
- EncuadernaciónTapa dura
- Número de páginas564
- EditorCoffa S., Priolo F., Rimini Emanuele
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Crucial Issues in Semiconductor Materials and Processing Technologies (Nato Science Series E:) [Hardcover ]
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Crucial Issues in Semiconductor Materials and Processing Technologies (NATO Science Series E:, 222)
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Crucial Issues in Semiconductor Materials and Processing Technologies : NATO Asi : Series E : Applied Sciences, Vol. 222
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Descripción Gebunden. Condición: New. Dieser Artikel ist ein Print on Demand Artikel und wird nach Ihrer Bestellung fuer Sie gedruckt. Proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Semiconductor Materials and Processing Technologies, Erice, Italy, July 1-13, 1991 Semiconductors lie at the heart of some of the most important industries and technologies of the twentieth century. Nº de ref. del artículo: 5966655
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Descripción Condición: New. Proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Semiconductor Materials and Processing Technologies, Erice, Italy, July 1-13, 1991 Editor(s): Coffa, S.; Priolo, Francesco; Rimini, Emanuele; Poate, J. M. (A&T Bell Laboratories, Murray Hill, New Jersey, USA). Series: NATO Science Series E:. Num Pages: 557 pages, biography. BIC Classification: TJFC; TJFD5. Category: (P) Professional & Vocational; (UP) Postgraduate, Research & Scholarly. Dimension: 235 x 155 x 31. Weight in Grams: 962. . 1992. Hardback. . . . . Nº de ref. del artículo: V9780792320036
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