Handbook of Plasma Processing Technology : Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions

Rossnagel, Stephen M., Cuomo, Jerome J., Westwood, William D.

ISBN 10: 0815512201 ISBN 13: 9780815512202

Editorial: Elsevier Science & Technology Books, 1990

Idioma: Ingl�s

Condici�n: Usado - Aceptable Encuadernaci�n de tapa dura

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Detalles bibliogr�ficos

T�tulo

Handbook of Plasma Processing Technology : Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions

Editor

Elsevier Science & Technology Books

Fecha de publicaci�n

1990

Idioma

Ingl�s

ISBN 10

0815512201

ISBN 13

9780815512202

Encuadernaci�n

Encuadernaci�n de tapa dura

Edici�n

1st Edition.

Estado

Good

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Sinopsis

This is a comprehensive overview of the technology of plasma-based processing, written by an outstanding group of 29 contributors.

Cr�ticas

"The text provides and excellent reference for plasma processing." - SAMPE Journal

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