Inscribed by Author. NATO ASI Series Size: Medium (20 to 26cm). Item Type: Book. Text body is clean and unmarked. Binding tight, spine fine. Inscribed by Author. ISBN: 0792301471. ISBN/EAN: 9780792301479. **Heavy Book. A Postage surcharge may be requested. Contact us BEFORE ordering for a quote. Click Ask Bookseller a Question** *** WE POST TO AUSTRALIA,UK,IRELAND,CANADA,USA,NEW ZEALAND,JAPAN & SINGAPORE ONLY ***.

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Detalles bibliogr�ficos

T�tulo

MicroElectronic Materials and Processes

Editor

Kluwer Academic Publishers, The Netherlands

Fecha de publicaci�n

1989

Idioma

Ingl�s

ISBN 10

0792301471

ISBN 13

9780792301479

Encuadernaci�n

Hardcover

Estado

Very Good

Estado de la sobrecubierta

No Dust Jacket

Firmado

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Physics & Chemistry

Acerca de

Sinopsis

The primary thrust of very large scale integration (VLS!) is the miniaturization of devices to increase packing density, achieve higher speed, and consume lower power. The fabrication of integrated circuits containing in excess of four million components per chip with design rules in the submicron range has now been made possible by the introduction of innovative circuit designs and the development of new microelectronic materials and processes. This book addresses the latter challenge by assessing the current status of the science and technology associated with the production of VLSI silicon circuits. It represents the cumulative effort of experts from academia and industry who have come together to blend their expertise into a tutorial overview and cohesive update of this rapidly expanding field. A balance of fundamental and applied contributions cover the basics of microelectronics materials and process engineering. Subjects in materials science include silicon, silicides, resists, dielectrics, and interconnect metallization. Subjects in process engineering include crystal growth, epitaxy, oxidation, thin film deposition, fine-line lithography, dry etching, ion implantation, and diffusion. Other related topics such as process simulation, defects phenomena, and diagnostic techniques are also included. This book is the result of a NATO-sponsored Advanced Study Institute (AS!) held in Castelvecchio Pascoli, Italy. Invited speakers at this institute provided manuscripts which were edited, updated, and integrated with other contributions solicited from non-participants to this AS!.

Rese�a del editor

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M�s informaci�n

Derecho a cancelaci�n

Si eres un consumidor puedes cancelar el presente contrato de acuerdo con lo indicado a continuaci�n. Son consumidores las personas f�sicas que act�en con un prop�sito ajeno a su actividad comercial, empresarial, oficio o profesi�n.

Documento de informaci�n al consumidor y usuario sobre el desistimiento

Derecho de desistimiento:

Tienes derecho a desistir del presente contrato en un plazo de 14 d�as naturales sin necesidad de justificaci�n.

El plazo de desistimiento expirar� a los 14 d�as naturales del d�a en que t� o un tercero que hayas indicado, distinto del transportista, adquiera la posesi�n material del �ltimo bien, componente o pieza.

Para ejercer el derecho de desistimiento, deber�s notificarnos a Shiny Owl Books, 11 Waratah Street, entrance in Bungan Lane, 2103, Mona Vale, NSW, Australia, 61 2-9979-3425, de tu decisi�n de desistir del contrato a trav�s de una declaraci�n inequ�voca (por ejemplo, una carta enviada por correo postal, fax o correo electr�nico). Podr�s utilizar el modelo de formulario de desistimiento que figura a continuaci�n, aunque su uso no es obligatorio. Tienes asimismo la opci�n de cumplimentar y enviar electr�nicamente el modelo de formulario de desistimiento o cualquier otra declaraci�n inequ�voca a trav�s de nuestro sitio web a "Mis pedidos" en "Mi cuenta". Si recurres a esta opci�n, te comunicaremos sin demora en un soporte duradero (por ejemplo, por correo electr�nico) la recepci�n de dicho desistimiento.

Para cumplir el plazo de desistimiento, basta con que la comunicaci�n relativa al ejercicio por tu parte de este derecho sea enviada antes de que venza el plazo correspondiente.

Consecuencias del desistimiento:

En caso de desistimiento por tu parte, te devolveremos todos los pagos recibidos de ti, incluidos los gastos de entrega (con la excepci�n de los gastos adicionales resultantes de la elecci�n por tu parte de una modalidad de entrega diferente a la modalidad menos costosa de entrega ordinaria que ofrezcamos) sin ninguna demora indebida y, en todo caso, a m�s tardar 14 d�as naturales a partir de la fecha en la que se nos informes de tu decisi�n de desistir del presente contrato. Procederemos a efectuar dicho reembolso utilizando el mismo medio de pago empleado por ti para la transacci�n inicial, a no ser que hayas dispuesto expresamente lo contrario; en todo caso, no incurrir�s en ning�n gasto como consecuencia del reembolso.

Podremos retenerte el reembolso hasta haber recibido los bienes, o hasta que hayas presentado una prueba de la devoluci�n de los mismos, seg�n qu� condici�n se cumpla primero. Deber�s devolvernos o entregarnos directamente los bienes a Shiny Owl Books, 11 Waratah Street, entrance in Bungan Lane, 2103, Mona Vale, NSW, Australia, 61 2-9979-3425, sin ninguna demora indebida y, en cualquier caso, a m�s tardar en el plazo de 14 d�as naturales a partir de la fecha en que nos comuniques tu decisi�n de desistimiento del contrato. Se considerar� cumplido el plazo si efect�as la devoluci�n de los bienes antes de que haya concluido dicho plazo. Deber�s asumir el coste directo de devoluci�n de los bienes. Solo ser�s responsable de la disminuci�n de valor de los bienes resultante de una manipulaci�n distinta a la necesaria para establecer la naturaleza, las caracter�sticas y el funcionamiento de los bienes.

Excepciones al derecho de desistimiento:

La entrega de peri�dicos, publicaciones especializadas o revistas con la excepci�n de contratos de suscripci�n; y
La entrega de contenido digital (incluyendo apps, software digital e-books, MP3, etc.) que no hubiera sido entregado en un medio tangible (por ejemplo: CD o DVD), si al realizar tu pedido has aceptado que podemos proceder al env�o del producto y que no resulta posible su cancelaci�n una vez comienza la entrega.

Modelo de formulario de desistimiento

(S�lo debe cumplimentar y enviar el presente formulario si desea desistir del contrato)

A la atenci�n de: (Shiny Owl Books, 11 Waratah Street, entrance in Bungan Lane, 2103, Mona Vale, NSW, Australia, 61 2-9979-3425)

Por la presente le comunico/comunicamos* que desisto de mi/desistimos de nuestro* contrato de venta del siguiente bien/prestaci�n del siguiente servicio*

Pedido el/recibido el*:

Nombre del consumidor y usuario o de los consumidores y usuarios:

Domicilio del consumidor y usuario o de los consumidores y usuarios:

Firma del consumidor y usuario o de los consumidores y usuarios (solo si el presente formulario se presenta en papel):

Fecha:

* Eliminar en su caso

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