VLSI Electronics Microstructure Science. Volume 8: Plasma Processing for VLSI.

Einspruch, Norman G. und Dale M. Brown:

ISBN 10: 0122341082 ISBN 13: 9780122341083

Editorial: Orlando u.a., Academic Press,, 1984

Idioma: Alem�n

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XVI, 527 S. mit Abb. Foliertes Bibliotheksexemplar. Mehrfach gestempelt. 71187 0122341082 Sprache: Deutsch Gewicht in Gramm: 1000.

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T�tulo

VLSI Electronics Microstructure Science. Volume 8: Plasma Processing for VLSI.

Editor

Orlando u.a., Academic Press,

Fecha de publicaci�n

1984

Idioma

Alem�n

ISBN 10

0122341082

ISBN 13

9780122341083

Encuadernaci�n

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