Ultra Clean Processing Of Semiconductor Surfaces (Solid State Phenomena)
Paul Mertens
ISBN 10: 3908451469 ISBN 13: 9783908451464
Editorial: Trans Tech Publications, Ltd., 2008
Usado
Paperback
Librería:
Mispah books, Redhill, SURRE, Reino Unido
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Descripción
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Sinopsis:
Volume is indexed by Thomson Reuters CPCI-S (WoS).
This collection of 86 peer-reviewed papers covers all aspects of the use of ultra-clean technology for large-scale integration on semiconductors, and cleaning and contamination-control in both front-end-of-line (FEOL) and back-end-of-line (BEOL) processing.
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Detalles bibliográficos
Título: Ultra Clean Processing Of Semiconductor ...
Editorial: Trans Tech Publications, Ltd.
Año de publicación: 2008
Encuadernación: Paperback
Condición: Very Good
Condición de la sobrecubierta: Sobrecubierta Incluida
Tipo de libro: book