Transport Simulation in Microelectronics | Kersch/Morokoff | Birkauser, 1995, in-8 cartonnage �diteur, 235 pages. Couverture propre. Dos solide. Int�rieur frais. Exemplaire de biblioth�que : petit code barre en pied de 1re de couv., cotation au dos, rares et discrets petits tampons � l'int�rieur de l'ouvrage. Bel �tat ! [BT15+].

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Detalles bibliogr�ficos

T�tulo: Transport Simulation in Microelectronics Kersch, Alfred and Morokoff, W.J.
Editor: Birkh�user
Fecha de publicaci�n: 1995
Idioma: Ingl�s
ISBN 10: 3764351683
ISBN 13: 9783764351687
Encuadernaci�n: Jan 27, 1995
Estado: Used: Very Good

Acerca de

Sinopsis

Computer simulation of semiconductor processing equipment and devices requires the use of a wide variety of numerical methods. Of these methods, the Monte Carlo approach is perhaps most fundamentally suited to mod- eling physical events occurring on microscopic scales which are intricately connected to the particle structure of nature. Here physical phenomena can be simulated by following simulation particles (such as electrons, molecules, photons, etc. ) through a statistical sampling of scattering events. Monte Carlo is, however, generally looked on as a last resort due to the extremely slow convergence of these methods. It is of interest, then, to examine when in microelectronics it is necessary to use Monte Carlo methods, how such methods may be improved, and what are the alternatives. This book ad- dresses three general areas of simulation which frequently arise in semicon- ductor modeling where Monte Carlo methods playa significant role. In the first chapter the basic mathematical theory of the Boltzmann equation for particle transport is presented. The following chapters are devoted to the modeling of the transport processes and the associated Monte Carlo meth- ods. Specific examples of industrial applications illustrate the effectiveness and importance of these methods. Two of these areas concern simulation of physical particles which may be assigned a time dependent position and velocity. This includes the molecules of a dilute gas used in such processing equipment as chemi- cal vapor decomposition reactors and sputtering reactors. We also consider charged particles moving within a semiconductor lattice.

Rese�a del editor

Computer simulation of semiconductor processing equipment and devices requires the use of a wide variety of numerical methods. Of these methods, the Monte Carlo approach is perhaps most fundamentally suited to mod� eling physical events occurring on microscopic scales which are intricately connected to the particle structure of nature. Here physical phenomena can be simulated by following simulation particles (such as electrons, molecules, photons, etc. ) through a statistical sampling of scattering events. Monte Carlo is, however, generally looked on as a last resort due to the extremely slow convergence of these methods. It is of interest, then, to examine when in microelectronics it is necessary to use Monte Carlo methods, how such methods may be improved, and what are the alternatives. This book ad� dresses three general areas of simulation which frequently arise in semicon� ductor modeling where Monte Carlo methods playa significant role. In the first chapter the basic mathematical theory of the Boltzmann equation for particle transport is presented. The following chapters are devoted to the modeling of the transport processes and the associated Monte Carlo meth� ods. Specific examples of industrial applications illustrate the effectiveness and importance of these methods. Two of these areas concern simulation of physical particles which may be assigned a time dependent position and velocity. This includes the molecules of a dilute gas used in such processing equipment as chemi� cal vapor decomposition reactors and sputtering reactors. We also consider charged particles moving within a semiconductor lattice.

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Para ejercer el derecho de desistimiento, deber�s notificarnos a Librairie Parr�sia, 11 avenue de Castelnau, 34120, P�zenas, France, +33 06 63 09 36 45, de tu decisi�n de desistir del contrato a trav�s de una declaraci�n inequ�voca (por ejemplo, una carta enviada por correo postal, fax o correo electr�nico). Podr�s utilizar el modelo de formulario de desistimiento que figura a continuaci�n, aunque su uso no es obligatorio. Tienes asimismo la opci�n de cumplimentar y enviar electr�nicamente el modelo de formulario de desistimiento o cualquier otra declaraci�n inequ�voca a trav�s de nuestro sitio web a "Mis pedidos" en "Mi cuenta". Si recurres a esta opci�n, te comunicaremos sin demora en un soporte duradero (por ejemplo, por correo electr�nico) la recepci�n de dicho desistimiento.

Para cumplir el plazo de desistimiento, basta con que la comunicaci�n relativa al ejercicio por tu parte de este derecho sea enviada antes de que venza el plazo correspondiente.

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En caso de desistimiento por tu parte, te devolveremos todos los pagos recibidos de ti, incluidos los gastos de entrega (con la excepci�n de los gastos adicionales resultantes de la elecci�n por tu parte de una modalidad de entrega diferente a la modalidad menos costosa de entrega ordinaria que ofrezcamos) sin ninguna demora indebida y, en todo caso, a m�s tardar 14 d�as naturales a partir de la fecha en la que se nos informes de tu decisi�n de desistir del presente contrato. Procederemos a efectuar dicho reembolso utilizando el mismo medio de pago empleado por ti para la transacci�n inicial, a no ser que hayas dispuesto expresamente lo contrario; en todo caso, no incurrir�s en ning�n gasto como consecuencia del reembolso.

Podremos retenerte el reembolso hasta haber recibido los bienes, o hasta que hayas presentado una prueba de la devoluci�n de los mismos, seg�n qu� condici�n se cumpla primero. Deber�s devolvernos o entregarnos directamente los bienes a Librairie Parr�sia, 11 avenue de Castelnau, 34120, P�zenas, France, +33 06 63 09 36 45, sin ninguna demora indebida y, en cualquier caso, a m�s tardar en el plazo de 14 d�as naturales a partir de la fecha en que nos comuniques tu decisi�n de desistimiento del contrato. Se considerar� cumplido el plazo si efect�as la devoluci�n de los bienes antes de que haya concluido dicho plazo. Deber�s asumir el coste directo de devoluci�n de los bienes. Solo ser�s responsable de la disminuci�n de valor de los bienes resultante de una manipulaci�n distinta a la necesaria para establecer la naturaleza, las caracter�sticas y el funcionamiento de los bienes.

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