Surface Chemical Cleaning and Passivation for Semiconductor Processing

Idioma: inglés

Editorial: Materials Research Society, Pittsburgh, Pennsylvania

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N° de ref. del artículo ABE-1755151697063

Detalles bibliográficos

Título
Surface Chemical Cleaning and Passivation for Semiconductor Processing
Autor
Gregg s. Higashi, Eugene A. Irene, Tadahiro Ohmi
Editorial
Materials Research Society, Pittsburgh, Pennsylvania
Estado
Bueno
Encuadernación
Encuadernación de tapa dura
Idioma
inglés

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