Simulation of Semiconductor Processes and Devices 2001 : SISPAD 01

Idioma: inglés

Editorial: Springer, Wien, Springer Vienna, Springer, 2001

3211837086 / 9783211837085

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Neuware - This volume contains the Proceedings of the International Conference on Simulation of Semiconductor Devices and Processes, SISPAD 01, held on September 5-7, 2001, in Athens.The conference provided an open forum for the presentation of the latest results and trends in process and device simulation. The trend towards shrinking device dimensions and increasing complexity in process technology demands the continuous development of advanced models describing basic physical phenomena involved. New simulation tools are developed to complete the hierarchy in the Technology Computer Aided Design simulation chain between microscopic and macroscopic approaches. The conference program featured 8 invited papers, 60 papers for oral presentation and 34 papers for poster presentation, selected from a total of 165 abstracts from 30 countries around the world. These papers disclose new and interesting concepts for simulating processes and devices.

N° de ref. del artículo 9783211837085

Título
Simulation of Semiconductor Processes and Devices 2001 : SISPAD 01
Autor
Dimitris Tsoukalas
Editorial
Springer, Wien, Springer Vienna, Springer
Año de publicación
2001
Estado
Neu
Encuadernación
Buch
Idioma
inglés
ISBN 10
3211837086
ISBN 13
9783211837085
Peso del artículo
1080 gramos
Dimensiones
235x188x35 mm

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