Silver Metallization : Stability and Reliability
Idioma: inglés
Editorial: Springer, 2012
- Tapa blanda
- Nuevo
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Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - Silver has the lowest resistivity of all metals, which makes it an attractive interconnect material for higher current densities and faster switching speeds in integrated circuits. Over the past ten years, extensive research has been conducted to address the thermal and electrical stability, as well as processing issues which, to date, have prevented the implementation of silver as an interconnect metal. Silver Metallization: Stability and Reliability is the first book to discuss current knowledge of silver metallization and its potential as a favorable candidate for implementation as a future interconnect material for integrated circuit technology.Silver Metallization: Stability and Reliability provides detailed information on a wide range of experimental, characterization and analysis techniques. It also presents the novel approaches used to overcome the thermal and electrical stability issues associated with silver metallization. Readers will learn about the: - preparation and characterization of elemental silver thin films and silver-metal alloys; - formation of diffusion barriers and adhesion promoters; - evaluation of the thermal stability of silver under different annealing conditions; - evaluation of the electrical properties of silver thin films under various processing conditions; - methods of dry etching of silver lines and the integration of silver with low-k dielectric materials. As a valuable resource in this emerging field; Silver Metallization: Stability and Reliability will be very useful to students, scientists, engineers and technologists in the fields of integrated circuits and microelectronics research and development. …
N° de ref. del artículo 9781849967051
- Título
- Silver Metallization : Stability and Reliability
- Autor
- Daniel Adams
- Editorial
- Springer
- Año de publicación
- 2012
- Estado
- Neu
- Encuadernación
- Taschenbuch
- Idioma
- inglés
- ISBN 10
- 1849967059
- ISBN 13
- 9781849967051
- Peso del artículo
- 219 gramos
- Dimensiones
- 235x155x8 mm
- Serie
- Libro 7 de 29: Engineering Materials and Processes
With the lowest resistivity of all metals, silver is an attractive interconnect material for higher current densities and faster switching speeds in integrated circuits. Over the past ten years, extensive research has been conducted to address the thermal and electrical stability issues and the processing issues that have prevented silver from being used as an interconnect metal. Here is the first book to discuss the current understanding of silver metallization and its potential as a future interconnect material for integrated circuit technology. The authors provide details on a wide range of experimental, characterization, and analysis techniques. In addition, they discuss novel approaches used to overcome the thermal and electrical stability issues associated with silver metallization. The book is written for students, scientists, engineers, and technologists in the fields of integrated circuits and microelectronics research and development.
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