Silicon VLSI Technology: Fundamentals, Practice and Modeling (Prentice Hall Electronics and Vlsi Series)

Plummer James, D., Michael Deal und B. Griffin Peter:

ISBN 10: 0130850373 ISBN 13: 9780130850379

Editorial: Pearson, 2000

Idioma: Ingl�s

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817 Seiten; 9780130850379.4 Gewicht in Gramm: 3.

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Detalles bibliogr�ficos

T�tulo

Silicon VLSI Technology: Fundamentals, Practice and Modeling (Prentice Hall Electronics and Vlsi Series)

Editor

Pearson

Fecha de publicaci�n

2000

Idioma

Ingl�s

ISBN 10

0130850373

ISBN 13

9780130850379

Encuadernaci�n

hardcover

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Acerca de

Sinopsis

Unique in approach, this book provides an integrated view of silicon technology--with an emphasis on modern computer simulation. It describes not only the manufacturing practice associated with the technologies used in silicon chip fabrication, but also the underlying scientific basis for those technologies. KEY TOPICS: Modern CMOS Technology. Crystal Growth, Wafer Fabrication and Basic Properties of Silicon Wafers. Semiconductor Manufacturing--Clean Rooms, Wafer Cleaning and Gettering. Lithography. Thermal Oxidation and the Si/SiO 2 Interface. Dopant Diffusion. Ion Implantation. Thin Film Diffusion. Etching. Backend Technology. MARKET: For anyone interested in Fabrication Processes.

De la contraportada

Unique in approach, this book provides an integrated view of silicon technologywith an emphasis on modern computer simulation. It describes not only the manufacturing practice associated with the technologies used in silicon chip fabrication, but also the underlying scientific basis for those technologies.

FEATURES/BENEFITS

Extensive use of modern computer simulation methods and examplesIntegrated into each chapter.

Illustrates how technologies work. Allowing the reader to develop a better physical understanding of concepts and helps them in visualizing features of the technologies that are not easily seen any other way.

Early, broad exposure to a complete chip manufacturing process (Ch. 2).

Ties many diverse processing concepts together and establishes the context for the specific technologies discussed in later chapters.

Examples of modern manufacturing practice.

Providing readers with practical examples of fundamental concepts.

Historical perspective and introduction.
An integrated view of silicon technologywith an emphasis on modern computer simulation.
Extensive use of modern computer simulation methods and examplesintegrated into each chapter.
Early, broad exposure to a complete chip manufacturing process.
Examples of modern manufacturing practice.

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