Science and Technology of Chemical Mechanical Planarization (CMP): Volume 1157: Symposium Held April 14-16, 2009, San Francisco, California, U.s.a. (MRS Proceedings)

Edited by Ashok Kumar , C. Fred Higgs, III , Chad S. Korach , Subramanian Balakumar

ISBN 10: 1605111309 ISBN 13: 9781605111308
Editorial: Cambridge University Press, 2010
Idioma: Inglés
Condición: Nuevo Encuadernación de tapa dura

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