Science and Technology of Chemical Mechanical Planarization (CMP): Symposium Held April 14-16, 2009, San Francisco, California, U.s.a.

Kumar, A. (Editor)/ Higgs, C. F., III (Editor)/ Korach, C. S. (Editor)/ Balakumar, S. (Editor)

ISBN 10: 1605111309 ISBN 13: 9781605111308
Editorial: Cambridge Univ Pr, 2010
Idioma: Inglés
Condición: Nuevo Encuadernación de tapa dura

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