Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing

Idioma: inglés

Editorial: Taylor and Francis Inc, US, 2000

0849311780 / 9780849311789

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Run-to-run (R2R) control is cutting-edge technology that allows modification of a product recipe between machine "runs," thereby minimizing process drift, shift, and variability-and with them, costs. Its effectiveness has been demonstrated in a variety of processes, such as vapor phase epitaxy, lithography, and chemical mechanical planarization. The only barrier to the semiconductor industry's widespread adoption of this highly effective process control is a lack of understanding of the technology. Run to Run Control in Semiconductor Manufacturing overcomes that barrier by offering in-depth analyses of R2R control.

N° de ref. del artículo LU-9780849311789

Título
Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing
Autor
Enrique del Castillo
Editorial
Taylor and Francis Inc, US
Año de publicación
2000
Estado
New
Encuadernación
Hardback
Idioma
inglés
ISBN 10
0849311780
ISBN 13
9780849311789
Peso del artículo
625 gramos

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