Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing

Idioma: inglés

Editorial: CRC Press, 2000

0849311780 / 9780849311789

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Offers analyses of run-to-run (R2R) control. Through manufacturing case studies, this book provides justification for and demonstrates the benefits of run-to-run control, and offers the know-how and direction for incorporating R2R control into readers' manufacturing capabilities. Editor(s): Moyne, James; del Castillo, Enrique; Hurwitz, A.M. Num Pages: 368 pages, 27 black & white tables. BIC Classification: TGP; TJFD5. Category: (P) Professional & Vocational. Dimension: 242 x 158 x 22. Weight in Grams: 630. . 2000. 1st Edition. hardcover. . . . . Books ship from the US and Ireland.

N° de ref. del artículo V9780849311789

Título
Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing
Autor
Boning, Duane S. Ed(s): Moyne, James; del Castillo, Enrique; Hurwitz, A.M.
Editorial
CRC Press
Año de publicación
2000
Estado
New
Encuadernación
Encuadernación de tapa dura
Idioma
inglés
ISBN 10
0849311780
ISBN 13
9780849311789

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