Preparation and characterization of low-k material for microelectronics: : Possible development of mechanical characterization at submicrometric scales with laser ultrasonics technique
Idioma: inglés
Editorial: LAP LAMBERT Academic Publishing, 2021
- Tapa blanda
- Nuevo
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nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - On the morning of my professional career, as research and development engineer, I had the chance to work at the Institute of Micro Electronic Center (IMEC). This book presents the work I have done from February till September 2007 and its focuses on the investigation of mechanical properties of low-k materials using opto-acoustic technique. Before approaching the opto-acoustic method itself, I practiced the techniques of thin films deposition, plasma treatment and spectro-ellipsometric characterization of materials. Unlike spectro-ellipsometric thin films study, the opto-acoustic characterization requires working with samples which include a transducer material. So, at first, we have designed some samples geometries to be analyzed. The goal of this comparative study (mechanic and acoustic) is not only to establish a correlation between nanoindentation and acoustic wave techniques, but also to determine the factors which best describe mechanical properties of low-k materials. The work has been done in collaboration with the Laboratory of Condensed Matter Physics (LPEC), located in Le Mans (France).…
N° de ref. del artículo 9786204208480
- Título
- Preparation and characterization of low-k material for microelectronics: : Possible development of mechanical characterization at submicrometric scales with laser ultrasonics technique
- Autor
- Merlin Nsenkoue
- Editorial
- LAP LAMBERT Academic Publishing
- Año de publicación
- 2021
- Estado
- Neu
- Encuadernación
- Taschenbuch
- Idioma
- inglés
- ISBN 10
- 6204208489
- ISBN 13
- 9786204208480
- Peso del artículo
- 143 gramos
- Dimensiones
- 220x150x6 mm
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Para ejercer el derecho de desistimiento, complete de forma electrónica y envíe una declaración clara en nuestro sitio web, desde "Mis compras" en "Mi cuenta". Le enviaremos sin demora un acuse de recibo de dicho desistimiento a través de un soporte duradero (por ejemplo, por correo electrónico).
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