Polymers for Microelectronics, Science and Technology: International Symposium Proceedings

ISBN 10: 3527281681 ISBN 13: 9783527281688

Editorial: Wiley-VCH, 1991

Idioma: Ingl�s

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T�tulo

Polymers for Microelectronics, Science and Technology: International Symposium Proceedings

Editor

Wiley-VCH

Fecha de publicaci�n

1991

Idioma

Ingl�s

ISBN 10

3527281681

ISBN 13

9783527281688

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Sinopsis

Polymers have played an important role in the development of microelectronics and are becoming ever more important for the future of microelectronics. The most important recent progress in the polymers for microelectronics, especially with regard to resist materials, was presented and discussed at "Polymers for Microelectronics (PME '89) - Science and Technology" - the first international symposium in this field to be held in Japan. About 300 researchers (70 from abroad and 230 Japanese) from all over the world attended PME '89. This volume has been organized into three sections: fundamental and applied research on resists and related compounds, polyimides and related functional polymers for electronics, and new photoresponsive polymers for optical memory and related applications. All papers were reviewed by referees.

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