Plasma Electronics : Applications in Microelectronic Device Fabrication
Idioma: inglés
Editorial: Taylor & Francis Ltd (Sales) Mai 2026, 2026
- Tapa dura
- Nuevo
Librería: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, AlemaniaAHA-BUCH GmbH
Vendedor de AbeBooks desde 14 de agosto de 2006
Condición: Nuevo
EUR 277,29
Cantidad disponible: 2 disponibles
Añadir al carritoDescripción del artículo del vendedor
N° de ref. del artículo 9781041192237
- Título
- Plasma Electronics : Applications in Microelectronic Device Fabrication
- Autor
- Toshiaki Makabe
- Editorial
- Taylor & Francis Ltd (Sales) Mai 2026
- Año de publicación
- 2026
- Estado
- Neu
- Encuadernación
- Buch
- Idioma
- inglés
- ISBN 10
- 1041192231
- ISBN 13
- 9781041192237
- Edición
- 3ª Edición
- Peso del artículo
- 771 gramos
- Dimensiones
- 234x156x24 mm
More than two decades have passed since the first edition of Plasma Electronics was published. Today, we are entering an era that demands increasingly sophisticated control and design of plasma sources and related surface technologies for micro- and nano-electronic device fabrication. Plasma technology, based on surface interactions, continues to expand into emerging fields including biotechnology, medical science, and environmental applications.
Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication, Third Edition, explains the fundamental physics and numerical methods essential for advancing these technologies from laboratory research to manufacturing-scale modeling and design of plasma sources and processes. This comprehensive resource has established itself as the standard reference for scientists, engineers, and graduate students working with weakly ionized, non-equilibrium plasmas. The book begins with a brief history of elementary processes and collective properties in low-temperature plasma, providing readers with essential context for understanding current developments and future prospects. Beyond traditional plasma knowledge, the content is systematically organized to enable quantitative understanding of surface-reactive plasmas through collision physics in gases and on surfaces, stochastic Boltzmann equation applications, electron and ion kinetics fundamentals, computational physics methodologies and plasma source design and optimization. The text addresses practical challenges head-on, including predictive modeling of spatiotemporally changing surfaces in contact with plasma through advanced numerical methods and control strategies. This approach ensures readers can apply theoretical knowledge to real-world manufacturing scenarios. Applications of negative charges generated in a low-temperature plasma will open up the world with innovative technologies. In this third edition, macroscopic functions of negative charges are added and elucidated for representative examples, including negative charge injection into a micro-structured surface on the electrode and the sustainability of active bulk plasma.
This book remains a unique and indispensable resource for researchers and engineers seeking to master radiofrequency collisional plasmas and their structure, function, and applications in today's rapidly evolving technological landscape.
Key Features:
· Provides essential fundamental physics and advanced numerical methods that enable researchers to transition plasma technologies from laboratory to factory
· Provides systematic coverage of surface-reactive plasma physics
· Addresses expanding plasma technology applications across biotechnology, medical science, and environmental fields
“Sinopsis” puede pertenecer a otra edición de este título.
Acerca del autor
Toshiaki Makabe received his BSc, MSc, and Ph.D. degrees in electrical engineering all from Keio University. He became a Professor of Electronics and Electrical Engineering in the Faculty of Science and Technology at Keio University in 1991.
Zoran Lj. Petrović obtained his Master's degree in the Department of Applied Physics, Faculty of Electrical Engineering at the University of Belgrade, and earned his Ph.D. from the Australian National University.
“Acerca de” puede pertenecer a otra edición de este título.
AHA-BUCH GmbH
Einbeck, Alemania
Vendedor de AbeBooks desde 14 de agosto de 2006
Tarifas de envío de Alemania a Estados Unidos de America
| Artículo | De 5 a 7 días hábiles | De 7 a 10 días hábiles |
|---|---|---|
| Primer artículo | EUR 30,50 | EUR 30,50 |
Métodos de pago
- Cheque
- Giro bancario
- PayPal
Descripción de la tienda
Especialidad
Kinderbücher & Kinderhör Casetten, German Books, Software, Natur & Tiere, Ratgeber, Sachbücher, Englische Bücher, Medizin & Gesundheit, Universität & StudiumInformación empresarial del vendedor
AHA-BUCH GmbH
Garlebsen 48
Einbeck, Alemania 37574
Condiciones de venta
IImprint
Información del vendedor
AHA-BUCH GmbH
representado por el director gerente Christel Glass
Garlebsen 48
37574 Einbeck
Alemania
Teléfono: 055639996039
Fax: 055639995974
E-Mail: abebooks@aha-buch.de
USt-IdNr.: DE261904229
Inscrita en el Registro Mercantil Amtsgerichtes Göttingen
Handelsregisternummer HRB 200691
Resolución alternativa de conflictos:
La Comisión Europea proporciona una plataforma para la resolución extrajudicial de litigios en línea (plataforma ODR), a la que se puede acceder en https://ec.europa.eu/odr.
Somos miembros de la iniciativa "FairCommerce" desde el 25.05.2018.
Para obtener más información, consulte www.fair-commerce.de.
Derecho al desistimiento
Si es un consumidor, puede rescindir el contrato de acuerdo con lo siguiente. Por consumidor se entiende cualquier persona física que actúe con fines ajenos a su actividad comercial, empresarial, oficio o profesión.
Información sobre el derecho de desistimiento
Derecho legal de desistimiento
Tiene derecho a rescindir este contrato en un plazo de 14 días sin dar ningún motivo.
El periodo de desistimiento vencerá a los 14 días desde que usted, o un tercero que no sea el transportista e indicado por usted, adquiera la posesión física del último bien o del último lote o pieza.
Para ejercer el derecho de desistimiento, complete de forma electrónica y envíe una declaración clara en nuestro sitio web, desde "Mis compras" en "Mi cuenta". Le enviaremos sin demora un acuse de recibo de dicho desistimiento a través de un soporte duradero (por ejemplo, por correo electrónico).
Para cumplir con el plazo de desistimiento, basta con que envíe su comunicación relativa al ejercicio del derecho de desistimiento antes de que venza el periodo de desistimiento.
Efectos del desistimiento
Si rescinde este contrato, le reembolsaremos todos los pagos que hayamos recibido de usted, incluidos los gastos de envío (excepto los gastos adicionales que surjan si elige un tipo de envío que no sea el tipo de envío estándar más económico que ofrecemos).
Podemos hacer una deducción del reembolso por la pérdida de valor de cualquier bien suministrado, si la pérdida es el resultado de una manipulación innecesaria por su parte.
Efectuaremos el reembolso sin demoras indebidas y, a más tardar, 14 días después de que se nos informe de su decisión de rescindir este contrato.
Efectuaremos el reembolso utilizando el mismo medio de pago que utilizó para la transacción inicial, a menos que haya acordado expresamente lo contrario; en cualquier caso, no incurrirá en ningún cargo como resultado de dicho reembolso.
Podremos retener el reembolso hasta que hayamos recibido los bienes o hasta que nos haya presentado una prueba de que los ha devuelto, lo que ocurra primero.
Deberá devolver los bienes o entregarlos a AHA-BUCH GmbH, Einbeck, Germany, sin demoras indebidas y, en cualquier caso, en un plazo máximo de 14 días a partir del día en que nos comunique su desistimiento del presente contrato. El plazo se cumple si devuelve la mercancía antes de que venza el periodo de 14 días. Tendrá que asumir los gastos directos de devolución de los bienes. Usted solo es responsable de la disminución del valor de los bienes como resultado de una manipulación distinta a la necesaria para establecer la naturaleza, las características y el funcionamiento de los bienes.
Excepciones al derecho de desistimiento
El derecho de desistimiento no se aplica a lo siguiente:
- La entrega de periódicos, diarios o revistas, con la excepción de los contratos de suscripción; y
- El suministro de contenido digital que no se proporcione en un soporte tangible (por ejemplo, en un CD o DVD) si, al hacer el pedido, aceptó que podíamos empezar a entregarlo y que no podría desistir una vez iniciada la entrega.
Condiciones de envío
Enviamos su pedido después de recibirlos
para artículos disponibles las últimas 24 horas,
para artículos con suministro nocturno a más tardar 48 horas.
En caso de que necesitemos pedir un artículo a nuestro proveedor, nuestro tiempo de envío depende de la fecha de recepción de los artículos, pero los artículos se enviarán el mismo día.
Nuestro objetivo es enviar los artículos pedidos de la manera más rápida, pero también más eficiente y segura a nuestros clientes.