Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication (Series in Plasma Physics)

Petrovic, Zoran Lj.,Makabe, Toshiaki

ISBN 10: 0750309768 ISBN 13: 9780750309769
Editorial: CRC Press, 2006
Idioma: Inglés
Condición: Usado - Aceptable Encuadernación de tapa dura

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