The Physics of Submicron Lithography

Idioma: inglés

Editorial: Springer US, 1992

0306435780 / 9780306435782

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Dieser Artikel ist ein Print on Demand Artikel und wird nach Ihrer Bestellung fuer Sie gedruckt. This book is devoted to the physics of electron-beam, ion-beam, optical, and x-ray lithography. The need for this book results from the following considerations. The astonishing achievements in microelectronics are in large part connected with successfully .

N° de ref. del artículo 5901714

Título
The Physics of Submicron Lithography
Autor
Kamil A. Valiev
Editorial
Springer US
Año de publicación
1992
Estado
New
Encuadernación
Gebunden
Idioma
inglés
ISBN 10
0306435780
ISBN 13
9780306435782

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