PVD for Microelectronics: Sputter Deposition Applied to Semiconductor Manufacturing (Thin Films) (Volume 26)

Ronald A. Powell; Stephen Rossnagel

ISBN 10: 012533026X ISBN 13: 9780125330268
Editorial: Academic Press, 1999
Idioma: Inglés
Condición: Nuevo Encuadernación de tapa dura

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