Nanofabrication : Techniques and Principles

Idioma: inglés

Editorial: Springer, 2011

3709104238 / 9783709104231

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Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - Intended to update scientists and engineers on the current state of the art in a variety of key techniques used extensively in the fabrication of structures at the nanoscale. The present work covers the essential technologies for creating sub 25 nm features lithographically, depositing layers with nanometer control, and etching patterns and structures at the nanoscale. A distinguishing feature of this book is a focus not on extension of microelectronics fabrication, but rather on techniques applicable for building NEMS, biosensors, nanomaterials, photonic crystals, and other novel devices and structures that will revolutionize society in the coming years.

N° de ref. del artículo 9783709104231

Título
Nanofabrication : Techniques and Principles
Autor
Steven Dew
Editorial
Springer
Año de publicación
2011
Estado
Neu
Encuadernación
Buch
Idioma
inglés
ISBN 10
3709104238
ISBN 13
9783709104231
Peso del artículo
642 gramos
Dimensiones
241x160x24 mm

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