Modelling of Microfabrication Systems

Idioma: inglés

Editorial: Springer Berlin Heidelberg Dez 2010, 2010

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This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -This is the first book to address modelling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. It is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology, ranging from ion beam micromachining to x-ray lithography. 280 pp. Englisch.

N° de ref. del artículo 9783642055362

Título
Modelling of Microfabrication Systems
Autor
Weizhong Dai
Editorial
Springer Berlin Heidelberg Dez 2010
Año de publicación
2010
Estado
Neu
Encuadernación
Taschenbuch
Idioma
inglés
ISBN 10
3642055362
ISBN 13
9783642055362
Peso del artículo
429 gramos
Dimensiones
235x155x16 mm

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