Modelling of Microfabrication Systems
Idioma: inglés
Editorial: Springer Vieweg, 2003
- Tapa dura
- Nuevo
Librería: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, AlemaniaAHA-BUCH GmbH
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Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - This book addresses modeling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. Selected topics are ion beam micromachining, x-ray lithography, laser chemical vapor deposition, photopolymerization, laser ablation, and thin films. Models simulating the behavior of these systems are presented, graphically illusratted, and discussed in the light of experimental results. Knowledge gained from such models is essential for system operation and optimization. This book is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology. It will be invaluable to scientists, engineers, graduate students, and manufacturers engaged in research and development for enhancing the accuracy and precision of microfabrication systems for commercial applications.
N° de ref. del artículo 9783540002529
- Título
- Modelling of Microfabrication Systems
- Autor
- Raja Nassar
- Editorial
- Springer Vieweg
- Año de publicación
- 2003
- Estado
- Neu
- Encuadernación
- Buch
- Idioma
- inglés
- ISBN 10
- 3540002529
- ISBN 13
- 9783540002529
- Peso del artículo
- 588 gramos
- Dimensiones
- 241x160x20 mm
This is the first book to address modelling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. It is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology, ranging from ion beam micromachining to x-ray lithography.
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De la contraportada
This book addresses modeling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. Selected topics are ion beam micromachining, x-ray lithography, laser chemical vapor deposition, photopolymerization, laser ablation, and thin films. Models simulating the behavior of these systems are presented, graphically illusratted, and discussed in the light of experimental results. Knowledge gained from such models is essential for system operation and optimization. This book is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology. It will be invaluable to scientists, engineers, graduate students, and manufacturers engaged in research and development for enhancing the accuracy and precision of microfabrication systems for commercial applications.
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Derecho al desistimiento
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Información sobre el derecho de desistimiento
Derecho legal de desistimiento
Tiene derecho a rescindir este contrato en un plazo de 14 días sin dar ningún motivo.
El periodo de desistimiento vencerá a los 14 días desde que usted, o un tercero que no sea el transportista e indicado por usted, adquiera la posesión física del último bien o del último lote o pieza.
Para ejercer el derecho de desistimiento, complete de forma electrónica y envíe una declaración clara en nuestro sitio web, desde "Mis compras" en "Mi cuenta". Le enviaremos sin demora un acuse de recibo de dicho desistimiento a través de un soporte duradero (por ejemplo, por correo electrónico).
Para cumplir con el plazo de desistimiento, basta con que envíe su comunicación relativa al ejercicio del derecho de desistimiento antes de que venza el periodo de desistimiento.
Efectos del desistimiento
Si rescinde este contrato, le reembolsaremos todos los pagos que hayamos recibido de usted, incluidos los gastos de envío (excepto los gastos adicionales que surjan si elige un tipo de envío que no sea el tipo de envío estándar más económico que ofrecemos).
Podemos hacer una deducción del reembolso por la pérdida de valor de cualquier bien suministrado, si la pérdida es el resultado de una manipulación innecesaria por su parte.
Efectuaremos el reembolso sin demoras indebidas y, a más tardar, 14 días después de que se nos informe de su decisión de rescindir este contrato.
Efectuaremos el reembolso utilizando el mismo medio de pago que utilizó para la transacción inicial, a menos que haya acordado expresamente lo contrario; en cualquier caso, no incurrirá en ningún cargo como resultado de dicho reembolso.
Podremos retener el reembolso hasta que hayamos recibido los bienes o hasta que nos haya presentado una prueba de que los ha devuelto, lo que ocurra primero.
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