It is a real pleasure to write the Foreword for this book, both because I have known and respected its author for many years and because I expect this book’s publication will mark an important milestone in the continuing worldwide development of microsystems. By bringing together all aspects of microsystem design, it can be expected to facilitate the training of not only a new generation of engineers, but perhaps a whole new type of engineer - one capable of addressing the complex range of problems involved in reducing entire systems to the micro- and nano-domains. This book breaks down disciplinary barriers to set the stage for systems we do not even dream of today. Microsystems have a long history, dating back to the earliest days of mic- electronics. While integrated circuits developed in the early 1960s, a number of laboratories worked to use the same technology base to form integrated sensors. The idea was to reduce cost and perhaps put the sensors and circuits together on the same chip. By the late-60s, integrated MOS-photodiode arrays had been developed for visible imaging, and silicon etching was being used to create thin diaphragms that could convert pressure into an electrical signal. By 1970, selective anisotropic etching was being used for diaphragm formation, retaining a thick silicon rim to absorb package-induced stresses. Impurity- and electrochemically-based etch-stops soon emerged, and "bulk micromachining" came into its own.

Rese�a del editor

It is a real pleasure to write the Foreword for this book, both because I have known and respected its author for many years and because I expect this book’s publication will mark an important milestone in the continuing worldwide development of microsystems. By bringing together all aspects of microsystem design, it can be expected to facilitate the training of not only a new generation of engineers, but perhaps a whole new type of engineer – one capable of addressing the complex range of problems involved in reducing entire systems to the micro- and nano-domains. This book breaks down disciplinary barriers to set the stage for systems we do not even dream of today. Microsystems have a long history, dating back to the earliest days of mic- electronics. While integrated circuits developed in the early 1960s, a number of laboratories worked to use the same technology base to form integrated sensors. The idea was to reduce cost and perhaps put the sensors and circuits together on the same chip. By the late-60s, integrated MOS-photodiode arrays had been developed for visible imaging, and silicon etching was being used to create thin diaphragms that could convert pressure into an electrical signal. By 1970, selective anisotropic etching was being used for diaphragm formation, retaining a thick silicon rim to absorb package-induced stresses. Impurity- and electrochemically-based etch-stops soon emerged, and "bulk micromachining" came into its own.

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Tienes derecho a desistir del presente contrato en un plazo de 14 d�as naturales sin necesidad de justificaci�n.

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Para ejercer el derecho de desistimiento, deber�s notificarnos a booksdeck, 5716 Corsa Ave, Ste 110, 91362, Westlake Village, California, U.S.A., +1 6506410172, de tu decisi�n de desistir del contrato a trav�s de una declaraci�n inequ�voca (por ejemplo, una carta enviada por correo postal, fax o correo electr�nico). Podr�s utilizar el modelo de formulario de desistimiento que figura a continuaci�n, aunque su uso no es obligatorio. Tienes asimismo la opci�n de cumplimentar y enviar electr�nicamente el modelo de formulario de desistimiento o cualquier otra declaraci�n inequ�voca a trav�s de nuestro sitio web a "Mis pedidos" en "Mi cuenta". Si recurres a esta opci�n, te comunicaremos sin demora en un soporte duradero (por ejemplo, por correo electr�nico) la recepci�n de dicho desistimiento.

Para cumplir el plazo de desistimiento, basta con que la comunicaci�n relativa al ejercicio por tu parte de este derecho sea enviada antes de que venza el plazo correspondiente.

Consecuencias del desistimiento:

En caso de desistimiento por tu parte, te devolveremos todos los pagos recibidos de ti, incluidos los gastos de entrega (con la excepci�n de los gastos adicionales resultantes de la elecci�n por tu parte de una modalidad de entrega diferente a la modalidad menos costosa de entrega ordinaria que ofrezcamos) sin ninguna demora indebida y, en todo caso, a m�s tardar 14 d�as naturales a partir de la fecha en la que se nos informes de tu decisi�n de desistir del presente contrato. Procederemos a efectuar dicho reembolso utilizando el mismo medio de pago empleado por ti para la transacci�n inicial, a no ser que hayas dispuesto expresamente lo contrario; en todo caso, no incurrir�s en ning�n gasto como consecuencia del reembolso.

Podremos retenerte el reembolso hasta haber recibido los bienes, o hasta que hayas presentado una prueba de la devoluci�n de los mismos, seg�n qu� condici�n se cumpla primero. Deber�s devolvernos o entregarnos directamente los bienes a booksdeck, 3002 Lawrence Expwy, 95051, Santa Clara, California, U.S.A., +1 6506410172, sin ninguna demora indebida y, en cualquier caso, a m�s tardar en el plazo de 14 d�as naturales a partir de la fecha en que nos comuniques tu decisi�n de desistimiento del contrato. Se considerar� cumplido el plazo si efect�as la devoluci�n de los bienes antes de que haya concluido dicho plazo. Deber�s asumir el coste directo de devoluci�n de los bienes. Solo ser�s responsable de la disminuci�n de valor de los bienes resultante de una manipulaci�n distinta a la necesaria para establecer la naturaleza, las caracter�sticas y el funcionamiento de los bienes.

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La entrega de peri�dicos, publicaciones especializadas o revistas con la excepci�n de contratos de suscripci�n; y
La entrega de contenido digital (incluyendo apps, software digital e-books, MP3, etc.) que no hubiera sido entregado en un medio tangible (por ejemplo: CD o DVD), si al realizar tu pedido has aceptado que podemos proceder al env�o del producto y que no resulta posible su cancelaci�n una vez comienza la entrega.

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(S�lo debe cumplimentar y enviar el presente formulario si desea desistir del contrato)

A la atenci�n de: (booksdeck, 5716 Corsa Ave, Ste 110, 91362, Westlake Village, California, U.S.A., +1 6506410172)

Por la presente le comunico/comunicamos* que desisto de mi/desistimos de nuestro* contrato de venta del siguiente bien/prestaci�n del siguiente servicio*

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