Materials Processing by Cluster Ion Beams : History, Technology, and Applications

Idioma: inglés

Editorial: CRC Press Dez 2019, 2019

0367872293 / 9780367872298

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Neuware - Materials Processing by Cluster Ion Beams: History, Technology, and Applications discusses the contemporary physics, materials science, surface engineering issues, and nanotechnology capabilities of cluster beam processing. Written by the originator of the gas cluster ion beam (GCIB) concept, this book: - Offers an overview of ion beam technologies, from the discovery of monomer ions to the introduction of GCIBs - Explores the development of sources for producing cluster beams from solid materials - Describes the engineering characteristics of gas cluster ion beam equipment - Covers cluster ion-solid surface interaction kinetics as well as sputtering, implantation, and ion-assisted deposition - Details surface processing techniques for smoothing, shallow implantation, and preparation of high-quality thin films - Introduces representative examples of emerging GCIB industrial applications Materials Processing by Cluster Ion Beams: History, Technology, and Applications provides a deeper understanding of the importance of cluster ion beams and their applications.…

N° de ref. del artículo 9780367872298

Título
Materials Processing by Cluster Ion Beams : History, Technology, and Applications
Autor
Isao Yamada
Editorial
CRC Press Dez 2019
Año de publicación
2019
Estado
Neu
Encuadernación
Taschenbuch
Idioma
inglés
ISBN 10
0367872293
ISBN 13
9780367872298
Peso del artículo
372 gramos
Dimensiones
234x156x14 mm

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