Lithography

Idioma: inglés

Editorial: IntechOpen, 2010

9533070641 / 9789533070643

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Lithography, the fundamental fabrication process of semiconductor devices, plays a critical role in micro- and nano-fabrications and the revolution in high density integrated circuits.This book is the result of inspirations and contributions from many researchers worldwide. Although the inclusion of the book chapters may not be a complete representation of all lithographic arts, it does represent a good collection of contributions in this field. We hope readers will enjoy reading the book as much as we have enjoyed bringing it together. We would like to thank all contributors and authors of this book. Sprache: Englisch Gewicht in Gramm: 1597.

Título
Lithography
Editorial
IntechOpen
Año de publicación
2010
Estado
Neu
Encuadernación
Gebundene Ausgabe
Idioma
inglés
ISBN 10
9533070641
ISBN 13
9789533070643
Peso del artículo
1597 gramos

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