Introduction to Microlithography: Theory, Materials, and Processing

Idioma: inglés

Editorial: American Chemical Society, 1983

0841207755 / 9780841207752

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Hardcover; ACS Symposium Series 219; based on a workshop sponsored by the A CS Division of Organic Coatings and Plastics Chemistry at the 185th meeting of the American Chemical Society, Seattle, Washington, March 20-25, 1983; light fading, light shelf wear to exterior; former owner's stamping on fron t end page and lower page edges; otherwise in very good condition with cle an text and tight binding. Dust jacket shows fading, edge wear, and a few s mall tears.

N° de ref. del artículo 74736

Título
Introduction to Microlithography: Theory, Materials, and Processing
Autor
Thompson, L.F., C.G. Willson, And M.J. Bowden, Editors
Editorial
American Chemical Society
Año de publicación
1983
Estado
UsedGood
Encuadernación
Hardcover
Idioma
inglés
ISBN 10
0841207755
ISBN 13
9780841207752

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