Introduction to Microlithography: Theory, Materials, and Processing: Based on a Workshop Sponsored by the ACS Division of Organic Coatings and Plastics Chemistry at the 185th Meeting of the American Chemical Society, Seattle, WA, March 20-25, 1983

Thompson, L.F.; C.G. Wilson, M.J. Bowden, editors

ISBN 10: 0841207755 ISBN 13: 9780841207752
Editorial: American Chemical Society Washington, DC 1983, 1983
Idioma: Inglés
Condición: Usado Encuadernación de tapa dura

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