An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering

Idioma: inglés

Editorial: Artech House Publishers, US, 1999

0890065810 / 9780890065815

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A non-technical introduction to the field of microelectromechanical systems (MEMS). It describes in detail the materials used in producing MEMS - including silicon, polymers and glass and quartz substrates - as well as MEMS design for nozzles, sensors, valves and other applications. It examines the manufacture of commercial MEMS using technologies such as oxidation, lithography, chemical vapour deposition and silicon fusion bonding and applications in a wide range of industries including data storage, telecommunications, consumer, automotive, medical and defence. The book also addresses the future of MEMS - its potential for microelectrode arrays, actuators and optical switches and other technologies.

N° de ref. del artículo LU-9780890065815

Título
An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Autor
Nadim Maluf
Editorial
Artech House Publishers, US
Año de publicación
1999
Estado
New
Encuadernación
Hardback
Idioma
inglés
ISBN 10
0890065810
ISBN 13
9780890065815
Edición
2nd.
Peso del artículo
600 gramos
Dimensiones
16.08 x 2.41 x 23.6 cm

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