292 Seiten Exemplar aus einer wissenchaftlichen Bibliothek Altersfreigabe FSK ab 0 Jahre Sprache: Englisch Gewicht in Gramm: 969 15,2 x 2,1 x 22,9 cm, Gebundene Ausgabe.

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Detalles bibliogr�ficos

T�tulo

An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering (Artech House Mems Library)

Editor

ARTECH HOUSE INC 01.12.1999.

Fecha de publicaci�n

1999

Idioma

Ingl�s

ISBN 10

0890065810

ISBN 13

9780890065815

Encuadernaci�n

Encuadernaci�n de tapa dura

Edici�n

Auflage: 2.

Estado

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Acerca de

Sinopsis

A non-technical introduction to the field of microelectromechanical systems (MEMS). It describes in detail the materials used in producing MEMS - including silicon, polymers and glass and quartz substrates - as well as MEMS design for nozzles, sensors, valves and other applications. It examines the manufacture of commercial MEMS using technologies such as oxidation, lithography, chemical vapour deposition and silicon fusion bonding and applications in a wide range of industries including data storage, telecommunications, consumer, automotive, medical and defence. The book also addresses the future of MEMS - its potential for microelectrode arrays, actuators and optical switches and other technologies.

Acerca del autor

Nadim Maluf is head of research and development at NovaSensor in Fremont, California, and is Consulting Professor of Electrical Engineering at Stanford University.

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