High Resolution Focused Ion Beams : Fib and Its Applications : The Physics of Liquid Metal Ion Sources and Ion Optics and Their Application to Focused Ion Beam Technology

Orloff, Jon; Swanson, Lynwood; Utlaut, Mark William

ISBN 10: 030647350X ISBN 13: 9780306473500
Editorial: Springer, 2002
Idioma: Inglés
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