Hf-Based High-k Dielectrics: Process Development, Performance Characterization, and Reliability

Young-Hee Kim; Jack C. Lee

ISBN 10: 1598290045 ISBN 13: 9781598290042
Editorial: Morgan & Claypool, 2005
Idioma: Inglés
Condición: Usado - Regular Encuadernación de tapa blanda

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