Handbook of Plasma Processing Technology: Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions

Rossnagel, Stephen M, and Westwood, William D, and Cuomo, Jerome J

ISBN 10: 0815512201 ISBN 13: 9780815512202
Editorial: William Andrew, 1990
Idioma: Inglés
Condición: Usado Encuadernación de tapa dura

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