Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39)

Harry J. Levinson, Mark A. McCord, Franco Cerrina, Robert D. Allen, John G. Skinner, Andrew R. Neureuther, Martin C. Peckerar, F. Keith Perkins, Michael J. Rooks, P. Rai-Choudhury

ISBN 10: 0819423785 ISBN 13: 9780819423788
Editorial: Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers, 1997
Idioma: Inglés
Condición: Usado - Aceptable Encuadernación de tapa dura

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