Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39)
Harry J. Levinson; Mark A. McCord; Franco Cerrina; Robert D. Allen; John G. Skinner; Andrew R. Neureuther; Martin C. Peckerar; F. Keith Perkins; Michael J. Rooks
ISBN 10: 0819423785 ISBN 13: 9780819423788
Editorial: Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers, 1997
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Sinopsis:
Book by Harry J Levinson Mark A McCord Franco Cerrina Robe
Reseña del editor: The dynamic field of lithography demands an authoritative handbook for process development and production and to aid in the training of scientists and engineers. It contains process details, recipes, tables, charts, etc., and is useful as a reference book or as a textbook.
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Detalles bibliográficos
Título: Handbook of Microlithography, Micromachining...
Editorial: Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers
Año de publicación: 1997
Encuadernación: Hardcover
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Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication: Microlithography
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Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39) Harry J. Levinson; Mark A. McCord; Franco Cerrina; Robert D. Allen; John G. Skinner; Andrew R. Neureuther; Martin C. Peckerar; F. Keith Perkins; Michael J. Rooks and P. Rai-Choudhury
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