Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39)

Idioma: inglés

Editorial: Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers, 1997

0819423785 / 9780819423788

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Título
Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39)
Autor
Harry J. Levinson, Mark A. McCord, Franco Cerrina, Robert D.
Editorial
Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers
Año de publicación
1997
Encuadernación
Hardcover
Idioma
inglés
ISBN 10
0819423785
ISBN 13
9780819423788

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