A Guide to Hands-on MEMS Design and Prototyping (Paperback)

Idioma: inglés

Editorial: Cambridge University Press, Cambridge, 2011

1107645794 / 9781107645790

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Paperback. Whether you are a student taking an introductory MEMS course or a practising engineer who needs to get up to speed quickly on MEMS design, this practical guide provides the hands-on experience needed to design, fabricate and test MEMS devices. You will learn how to use foundry multi-project fabrication processes for low-cost MEMS projects, as well as computer-aided design tools (layout, modeling) that can be used for the design of MEMS devices. Numerous design examples are described and analysed, from fields including micro-mechanics, electrostatics, optical MEMS, thermal MEMS and fluidic MEMS. There's also a final chapter on packaging and testing MEMS devices, as well as exercises and design challenges at the end of every chapter. Solutions to the design challenge problems are provided online. Get the hands-on experience needed to design, fabricate and test MEMS devices with this practical guide. You will also learn to use foundry multi-project fabrication processes for low-cost MEMS projects, and end-of-chapter exercises and design challenges are provided, making this ideally suited for use in the classroom and by practising engineers. Shipping may be from multiple locations in the US or from the UK, depending on stock availability.…

N° de ref. del artículo 9781107645790

Título
A Guide to Hands-on MEMS Design and Prototyping (Paperback)
Autor
Joel A. Kubby
Editorial
Cambridge University Press, Cambridge
Año de publicación
2011
Estado
new
Encuadernación
Paperback
Idioma
inglés
ISBN 10
1107645794
ISBN 13
9781107645790

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