Glow Discharge Processes
Chapman; Chapma
ISBN 10: 047107828X ISBN 13: 9780471078289
Editorial: John Wiley & Sons, 1980
Usado
Hardcover
Librería:
ThriftBooks-Atlanta, AUSTELL, GA, Estados Unidos de America
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Descripción
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Sinopsis:
Develops detailed understanding of the deposition and etching of materials by sputtering discharge, and of etching of materials by chemically active discharge. Treats glow discharge at several levels from basic phenomena to industrial applications--practical techniques diligently related to fundamentals. Subjects range from voltage, distributions encountered in plasma etching systems to plasma-electron interactions that contribute to sustaining the discharge.
Acerca del autor:
Brian Chapman is the author of Glow Discharge Processes: Sputtering and Plasma Etching, published by Wiley.
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Detalles bibliográficos
Título: Glow Discharge Processes
Editorial: John Wiley & Sons
Año de publicación: 1980
Encuadernación: Hardcover
Condición: Fair
Condición de la sobrecubierta: No Jacket